[發明專利]一種銅及合金表面處理用的化學拋光劑及其制備方法

無效

• 申請號: 201210249406.4
• 申請日: 2012-07-17
• 公開（公告）號: CN102747371A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 許澤波
• 申請（專利權）人: 許澤波
• 主分類號: C23F3/06
• 分類號: C23F3/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種銅及合金表面處理用的化學拋光劑，其特征是：包括以下組份材料混配而成：

雙氧水15～55％????有機酸10～20％

無機酸10～20％????抗氧緩蝕劑0.5～5％

醇醚5～15％???????水：余量。

2.根據權利要求1所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑，其特征是：所述有機酸為草酸、檸檬酸、聚羧酸、醋酸、植酸或氨基酸。

3.根據權利要求1所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑，其特征是：所述無機酸為硫酸、鹽酸、磷酸、硼酸或硅酸。

4.根據權利要求1所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑，其特征是：所述抗氧緩蝕劑為苯駢三氮唑、巰基苯駢噻唑、甲基苯駢三氮唑、尿素或水合肼。

5.根據權利要求1所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑，其特征是：所述醇醚為聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚乙二醇800、聚乙二醇1000、乙二醇、丙二醇、乙醚或乙醇。

6.根據權利要求1所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑，其特征是：

雙氧水15～25％????有機酸15～20％

無機酸15～20％????抗氧緩蝕劑0.5～5％

醇醚10～15％??????水：余量。

7.根據權利要求1所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑，其特征是：

雙氧水30～55％????有機酸10～15％

無機酸10～15％????抗氧緩蝕劑0.5～5％

醇醚5～10％???????水：余量。

8.根據權利要求1所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑的制備方法，其特征是，制備步驟如下：

步驟1：按比例稱取各組分原材料；

步驟2：按比例稱取自來水在耐酸容器里面；

步驟3：在步驟2中加入抗氧緩蝕劑攪拌至溶解狀態；

步驟4：在步驟3制得的溶液中加入醇醚攪拌至溶解狀態；

步驟5：在步驟4制得的溶液中加入有機酸攪拌至溶解狀態；

步驟6：在步驟5制得的溶液中加入無機酸攪拌至溶解狀態；

步驟7：在步驟6制得的溶液中加入雙氧水攪拌5～10分鐘至均勻狀態即可。

9.根據權利要求8所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑的制備方法，其特征是，

所述步驟1：稱取雙氧水15.5份、草酸10份、硫酸12份、苯駢三氮唑0.5份、聚乙二醇4006份和水54份待用；

所述步驟2：將所稱取的54份水放在耐酸容器里面；

所述步驟3：在步驟2中加入苯駢三氮唑0.5份攪拌至溶解狀態；

所述步驟4：在步驟3制得的溶液中加入聚乙二醇4006份攪拌至溶解狀態；

所述步驟5：在步驟4制得的溶液中加入草酸10份攪拌至溶解狀態；

所述步驟6：在步驟5制得的溶液中加入硫酸12份攪拌至溶解狀態；

所述步驟7：在步驟6制得的溶液中加入雙氧水15.5份攪拌5～10分鐘至均勻狀態即可。

10.根據權利要求8所述銅及合金表面處理用的化學拋光劑的制備方法，其特征是，

所述步驟1：稱取雙氧水28份、檸檬酸15.5份、硫酸13.5份、苯駢三氮唑1.0份、乙二醇10份和水32份待用；

所述步驟2：將所稱取的32份水放在耐酸容器里面；

所述步驟3：在步驟2中加入苯駢三氮唑1.0份攪拌至溶解狀態；

所述步驟4：在步驟3制得的溶液中加入乙二醇10份攪拌至溶解狀態；

所述步驟5：在步驟4制得的溶液中加入檸檬酸15.5份攪拌至溶解狀態；

所述步驟6：在步驟5制得的溶液中加入硫酸13.5份攪拌至溶解狀態；

所述步驟7：在步驟6制得的溶液中加入雙氧水30份攪拌5～10分鐘至均勻狀態即可。