[發(fā)明專利]一種石英坩堝外形尺寸檢測(cè)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210246704.8
• 申請(qǐng)日: 2012-07-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103542808A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳寶昌;劉福鴻;劉愛(ài)軍;馮濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇華爾光電材料股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G01B11/06;G01B11/08
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

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技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于測(cè)試儀器，尤其涉及石英坩堝外形尺寸自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)

目前石英坩堝生產(chǎn)工藝流程中，坩堝檢測(cè)有人工完成，主要缺點(diǎn)：人工操作誤差大，測(cè)量精度不高，記錄過(guò)程誤操作率高；勞動(dòng)強(qiáng)度大，搬運(yùn)給坩堝品質(zhì)造成很大影響。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明目的：針對(duì)上述現(xiàn)有存在的問(wèn)題和不足，本發(fā)明的目的是提供了一種高效自動(dòng)的石英坩堝外形尺寸檢測(cè)裝置。

技術(shù)方案：為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：一種石英坩堝外形尺寸檢測(cè)裝置，包括激光測(cè)微儀、激光位移傳感器、機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)、傳送帶和PLC控制系統(tǒng)，其中：所述傳送帶用于傳送石英坩堝；所述激光位移傳感器固定在機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)，并用于測(cè)量石英坩堝的高度；所述激光測(cè)微儀，用于測(cè)量石英坩堝的外徑、壁厚、弧厚和底厚；所述PLC控制系統(tǒng)分別接收激光位移傳感器和激光測(cè)微儀的測(cè)量數(shù)據(jù)，并控制機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行定位，同時(shí)控制傳送帶輸送下一個(gè)待測(cè)石英坩堝，控制激光位移傳感器和激光測(cè)微儀進(jìn)行測(cè)量。

作為優(yōu)選，所述PLC控制系統(tǒng)采用西門子S7-300系列PLC控制系統(tǒng)。

作為優(yōu)選，所述激光測(cè)微儀同時(shí)設(shè)有弧厚測(cè)量點(diǎn)、底厚測(cè)量點(diǎn)、外徑測(cè)量點(diǎn)和壁厚測(cè)量點(diǎn)。

有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：1.全部控制過(guò)程由PLC控制完成，提高效率和安全性。2.整個(gè)控制過(guò)程中的信號(hào)可以通過(guò)PLC采集到HMI畫面，方便操作控制和設(shè)備維護(hù)。3.測(cè)量由高精度激光位移傳感器和激光測(cè)微儀完成，精度高，誤差控制在10μm。4.傳送帶傳送點(diǎn)由光電開(kāi)關(guān)精確定位，保證了測(cè)量的精度。5.?機(jī)械手定位裝置得三維空間的定位精確，可以保證各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的立體空間的準(zhǔn)確性。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，激光測(cè)微儀1、激光位移傳感器2、機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)3、弧厚測(cè)量點(diǎn)4、底厚測(cè)量點(diǎn)5、外徑測(cè)量點(diǎn)6。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。

如圖1所示，一種石英坩堝外形檢測(cè)裝置，包括激光測(cè)微儀、激光位移傳感器、機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)、傳送帶和采用西門子生產(chǎn)的S7-300系列的PLC控制系統(tǒng)，其中：所述傳送帶用于傳送石英坩堝；所述激光位移傳感器固定在機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)，并用于測(cè)量石英坩堝的高度；所述激光測(cè)微儀，用于測(cè)量石英坩堝的外徑、壁厚、弧厚和底厚；所述PLC控制系統(tǒng)分別接收激光位移傳感器和激光測(cè)微儀的測(cè)量數(shù)據(jù)，并控制機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行定位，同時(shí)控制傳送帶輸送下一個(gè)待測(cè)石英坩堝，控制激光位移傳感器和激光測(cè)微儀進(jìn)行測(cè)量。

本設(shè)備通過(guò)PLC自動(dòng)完成整個(gè)設(shè)備控制，同時(shí)通過(guò)人機(jī)畫面達(dá)到人對(duì)自動(dòng)控制過(guò)程的監(jiān)控。傳送帶確定的坩堝測(cè)量區(qū)域位置由光電傳感器定位，將坩堝傳送到指定的檢測(cè)位置，然后由機(jī)械手定位裝置將激光位移傳感器對(duì)應(yīng)到工藝要求檢測(cè)的采樣點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，最終將測(cè)量的數(shù)據(jù)反饋給PLC，通過(guò)外圍顯示系統(tǒng)顯示，并將數(shù)據(jù)記錄歸檔。