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[發(fā)明專利]一種石英坩堝外形尺寸檢測(cè)裝置無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210246704.8 申請(qǐng)日: 2012-07-17
公開(公告)號(hào): CN103542808A 公開(公告)日: 2014-01-29
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳寶昌;劉福鴻;劉愛(ài)軍;馮濤 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 江蘇華爾光電材料股份有限公司
主分類號(hào): G01B11/02 分類號(hào): G01B11/02;G01B11/06;G01B11/08
代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 225600 江蘇省揚(yáng)州市高郵市經(jīng)*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 石英 坩堝 外形尺寸 檢測(cè) 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種石英坩堝外形尺寸檢測(cè)裝置,其特征在于:包括激光測(cè)微儀、激光位移傳感器、機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)、傳送帶和PLC控制系統(tǒng),其中:

所述傳送帶用于傳送石英坩堝;

所述激光位移傳感器固定在機(jī)械手定位機(jī)構(gòu),并用于測(cè)量石英坩堝的高度;

所述激光測(cè)微儀,用于測(cè)量石英坩堝的外徑、壁厚、弧厚和底厚;

所述PLC控制系統(tǒng)分別接收激光位移傳感器和激光測(cè)微儀的測(cè)量數(shù)據(jù),并控制機(jī)械手定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行定位,同時(shí)控制傳送帶輸送下一個(gè)待測(cè)石英坩堝,控制激光位移傳感器和激光測(cè)微儀進(jìn)行測(cè)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述石英坩堝外形尺寸檢測(cè)裝置,其特征在于:所述PLC控制系統(tǒng)采用西門子S7-300系列PLC控制系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述石英坩堝外形尺寸檢測(cè)裝置,其特征在于:所述激光測(cè)微儀同時(shí)設(shè)有弧厚測(cè)量點(diǎn)、底厚測(cè)量點(diǎn)、外徑測(cè)量點(diǎn)和壁厚測(cè)量點(diǎn)。

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說(shuō)明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說(shuō)明書;

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