[發明專利]正型光致抗蝕劑剝離劑組合物

無效

• 申請號: 201210246206.3
• 申請日: 2012-07-17
• 公開（公告）號: CN102998915A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 張峰
• 申請（專利權）人: 張峰
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;C07D295/185;C07D211/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種正型光致抗蝕劑剝離劑組合物，其特征在于包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羥基胺；b)1-70重量份的二甘醇單烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；

[式1]，其中R’為氫，或具有1至4個碳原子的烷基，

[式2]。

2.根據權利要求1所述的正型光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，還含有e)0.01-10重量份的非離子表面活性劑。

3.根據權利要求1所述的正型光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，還含有f)20-90重量份的非質子極性溶劑。

4.根據權利要求1所述的正型光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述的二甘醇單烷基醚是選自丁基乙二醇、丁基二乙二醇、丁基三甘醇、甲基乙二醇、甲基二乙二醇、甲基三乙二醇、及甲基丙二醇中的至少一種化合物。

5.根據權利要求3所述的正型光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述的非質子極性溶劑是選自二甲基亞砜、N-甲基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基咪唑啉酮、及γ-丁內酯中的至少一種化合物。

6.根據權利要求2所述的正型光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述的非離子表面活性劑，是選自聚氧丙烯乙二醇醚、聚氧丙烯乙基醚、聚氧丙烯甲基醚、聚氧丙稀丁基醚、聚氧乙烯聚丙二醇醚、聚氧乙烯聚丙乙基醚、聚氧乙烯聚丙甲基醚、聚氧乙烯聚丙丁基醚中的至少一種化合物。

7.如權利要求1所述的正型光致抗蝕劑剝離劑組合物在光刻膠剝離中的應用。

8.一種如[式1]所示的化合物：

[式1]，其中R’為氫，或具有1至4個碳原子的烷基。