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[發(fā)明專利]聚合物組合物以及包含所述聚合物的光刻膠在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210242995.3 申請(qǐng)日: 2012-05-28
公開(公告)號(hào): CN102796223A 公開(公告)日: 2012-11-28
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: G·P·普洛科泊維茲;G·波勒斯;李明琦;C·吳;劉驄;C·徐 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 羅門哈斯電子材料有限公司
主分類號(hào): C08F222/14 分類號(hào): C08F222/14;C08F222/20;G03F7/004;G03F7/09
代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 代理人: 江磊
地址: 美國馬*** 國省代碼: 美國;US
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 聚合物 組合 以及 包含 光刻
【權(quán)利要求書】:

1.一種共聚物,其包含式(I)所示的堿溶性單體和可與式(I)所示堿溶性單體共聚的其他單體的聚合產(chǎn)物:

其中:

Ra是H、F、C1-10烷基、或C1-10氟烷基,

L1是m價(jià)的C2-30亞烷基、C3-30亞環(huán)烷基、C6-30亞芳基、C7-30亞芳烷基基團(tuán);X1獨(dú)立地是一種堿溶性有機(jī)基團(tuán),其包含β-二酮、β-酯-酮、β-二酯或包含上述至少一種的組合。

2.如權(quán)利要求1所述的共聚物,其特征在于,每個(gè)X1獨(dú)立地是:

其中,X2是O或單鍵,并且Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基、C3-20環(huán)烷基、C6-20芳基、C7-20芳烷基,或包含上述至少一種的組合。

3.如權(quán)利要求1所述的共聚物,其特征在于,所述堿溶性單體為式(II)所示單體:

Ra是H、F、C1-6烷基,或CF3

L2是m價(jià)的C2-30亞烷基、C3-30亞環(huán)烷基,C6-30亞芳基,C7-30亞芳烷基基團(tuán),

n是1或2,并且

Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基,C3-20環(huán)烷基,C6-20芳基,C7-20芳烷基,或包含上述至少一種的組合。

4.如權(quán)利要求1所述的共聚物,其特征在于,所述堿溶性單體是:

或包含上述至少一種的組合,其中

Ra是H、F、C1-6烷基,或CF3

X2是O或單鍵,并且

Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基,C3-20環(huán)烷基,C6-20芳基,C7-20芳烷基,或包含上述至少一種的組合。

5.如權(quán)利要求1所述的共聚物,其特征在于,所述其他單體是含有可酸脫保護(hù)的堿溶性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯單體、含有內(nèi)酯官能團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯單體、含有不同于式(I)中堿溶性基團(tuán)的堿溶性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯單體,或包含至少一種上述單體的組合。

6.如權(quán)利要求5所述的共聚物,其特征在于,所述可酸脫保護(hù)的單體包括:

或包含至少一種上述單體的組合,其中Ra是H、F、C1-10烷基,或C1-10氟烷基。

7.如權(quán)利要求5所述的共聚物,其特征在于,所述含有內(nèi)酯的單體包含:

或包含至少一種上述單體的組合,其中Ra是H、F、C1-10烷基,或C1-10氟烷基。

8.如權(quán)利要求5所述的共聚物,其特征在于,所述其他堿溶性(甲基)丙烯酸酯單體包括:

或包含至少一種上述單體的組合,

其中Ra是H、F、C1-10烷基,或C1-10氟烷基,并且Rc是C1-4全氟化烷基基團(tuán)。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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