[發(fā)明專利]聚合物組合物以及包含所述聚合物的光刻膠

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210242995.3
• 申請(qǐng)日: 2012-05-28
• 公開（公告）號(hào): CN102796223A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: G·P·普洛科泊維茲;G·波勒斯;李明琦;C·吳;劉驄;C·徐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅門哈斯電子材料有限公司
• 主分類號(hào): C08F222/14
• 分類號(hào): C08F222/14;C08F222/20;G03F7/004;G03F7/09
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 江磊

1.一種共聚物，其包含式(I)所示的堿溶性單體和可與式(I)所示堿溶性單體共聚的其他單體的聚合產(chǎn)物：

其中：

R^a是H、F、C_1-10烷基、或C_1-10氟烷基，

L₁是m價(jià)的C_2-30亞烷基、C_3-30亞環(huán)烷基、C_6-30亞芳基、C_7-30亞芳烷基基團(tuán)；X₁獨(dú)立地是一種堿溶性有機(jī)基團(tuán)，其包含β-二酮、β-酯-酮、β-二酯或包含上述至少一種的組合。

2.如權(quán)利要求1所述的共聚物，其特征在于，每個(gè)X₁獨(dú)立地是：

其中，X₂是O或單鍵，并且R^b是C_1-20烷基、C_1-20氟烷基、C_3-20環(huán)烷基、C_6-20芳基、C_7-20芳烷基，或包含上述至少一種的組合。

3.如權(quán)利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述堿溶性單體為式(II)所示單體：

R^a是H、F、C_1-6烷基，或CF₃；

L₂是m價(jià)的C_2-30亞烷基、C_3-30亞環(huán)烷基，C_6-30亞芳基，C_7-30亞芳烷基基團(tuán)，

n是1或2，并且

R^b是C_1-20烷基、C_1-20氟烷基，C_3-20環(huán)烷基，C_6-20芳基，C_7-20芳烷基，或包含上述至少一種的組合。

4.如權(quán)利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述堿溶性單體是：

或包含上述至少一種的組合，其中

R^a是H、F、C_1-6烷基，或CF₃；

X₂是O或單鍵，并且

R^b是C_1-20烷基、C_1-20氟烷基，C_3-20環(huán)烷基，C_6-20芳基，C_7-20芳烷基，或包含上述至少一種的組合。

5.如權(quán)利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述其他單體是含有可酸脫保護(hù)的堿溶性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯單體、含有內(nèi)酯官能團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯單體、含有不同于式(I)中堿溶性基團(tuán)的堿溶性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯單體，或包含至少一種上述單體的組合。

6.如權(quán)利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述可酸脫保護(hù)的單體包括：

或包含至少一種上述單體的組合，其中R^a是H、F、C_1-10烷基，或C_1-10氟烷基。

7.如權(quán)利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述含有內(nèi)酯的單體包含：

或包含至少一種上述單體的組合，其中R^a是H、F、C_1-10烷基，或C_1-10氟烷基。

8.如權(quán)利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述其他堿溶性(甲基)丙烯酸酯單體包括：

或包含至少一種上述單體的組合，

其中R^a是H、F、C_1-10烷基，或C_1-10氟烷基，并且R^c是C_1-4全氟化烷基基團(tuán)。