[發明專利]聚合物組合物以及包含所述聚合物的光刻膠

在審

• 申請號: 201210242995.3
• 申請日: 2012-05-28
• 公開（公告）號: CN102796223A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: G·P·普洛科泊維茲;G·波勒斯;李明琦;C·吳;劉驄;C·徐
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料有限公司
• 主分類號: C08F222/14
• 分類號: C08F222/14;C08F222/20;G03F7/004;G03F7/09
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 江磊

1.一種共聚物，其包含式(I)所示的堿溶性單體和可與式(I)所示堿溶性單體共聚的其他單體的聚合產物：

其中：

R^a是H、F、C_1-10烷基、或C_1-10氟烷基，

L₁是m價的C_2-30亞烷基、C_3-30亞環烷基、C_6-30亞芳基、C_7-30亞芳烷基基團；X₁獨立地是一種堿溶性有機基團，其包含β-二酮、β-酯-酮、β-二酯或包含上述至少一種的組合。

2.如權利要求1所述的共聚物，其特征在于，每個X₁獨立地是：

其中，X₂是O或單鍵，并且R^b是C_1-20烷基、C_1-20氟烷基、C_3-20環烷基、C_6-20芳基、C_7-20芳烷基，或包含上述至少一種的組合。

3.如權利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述堿溶性單體為式(II)所示單體：

R^a是H、F、C_1-6烷基，或CF₃；

L₂是m價的C_2-30亞烷基、C_3-30亞環烷基，C_6-30亞芳基，C_7-30亞芳烷基基團，

n是1或2，并且

R^b是C_1-20烷基、C_1-20氟烷基，C_3-20環烷基，C_6-20芳基，C_7-20芳烷基，或包含上述至少一種的組合。

4.如權利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述堿溶性單體是：

或包含上述至少一種的組合，其中

R^a是H、F、C_1-6烷基，或CF₃；

X₂是O或單鍵，并且

R^b是C_1-20烷基、C_1-20氟烷基，C_3-20環烷基，C_6-20芳基，C_7-20芳烷基，或包含上述至少一種的組合。

5.如權利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述其他單體是含有可酸脫保護的堿溶性基團的(甲基)丙烯酸酯單體、含有內酯官能團的(甲基)丙烯酸酯單體、含有不同于式(I)中堿溶性基團的堿溶性基團的(甲基)丙烯酸酯單體，或包含至少一種上述單體的組合。

6.如權利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述可酸脫保護的單體包括：

或包含至少一種上述單體的組合，其中R^a是H、F、C_1-10烷基，或C_1-10氟烷基。

7.如權利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述含有內酯的單體包含：

或包含至少一種上述單體的組合，其中R^a是H、F、C_1-10烷基，或C_1-10氟烷基。

8.如權利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述其他堿溶性(甲基)丙烯酸酯單體包括：

或包含至少一種上述單體的組合，

其中R^a是H、F、C_1-10烷基，或C_1-10氟烷基，并且R^c是C_1-4全氟化烷基基團。