[發明專利]聚合物組合物以及包含所述聚合物的光刻膠在審
| 申請號: | 201210242995.3 | 申請日: | 2012-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN102796223A | 公開(公告)日: | 2012-11-28 |
| 發明(設計)人: | G·P·普洛科泊維茲;G·波勒斯;李明琦;C·吳;劉驄;C·徐 | 申請(專利權)人: | 羅門哈斯電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C08F222/14 | 分類號: | C08F222/14;C08F222/20;G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 江磊 |
| 地址: | 美國馬*** | 國省代碼: | 美國;US |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 聚合物 組合 以及 包含 光刻 | ||
1.一種共聚物,其包含式(I)所示的堿溶性單體和可與式(I)所示堿溶性單體共聚的其他單體的聚合產物:
其中:
Ra是H、F、C1-10烷基、或C1-10氟烷基,
L1是m價的C2-30亞烷基、C3-30亞環烷基、C6-30亞芳基、C7-30亞芳烷基基團;X1獨立地是一種堿溶性有機基團,其包含β-二酮、β-酯-酮、β-二酯或包含上述至少一種的組合。
2.如權利要求1所述的共聚物,其特征在于,每個X1獨立地是:
其中,X2是O或單鍵,并且Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基、C3-20環烷基、C6-20芳基、C7-20芳烷基,或包含上述至少一種的組合。
3.如權利要求1所述的共聚物,其特征在于,所述堿溶性單體為式(II)所示單體:
Ra是H、F、C1-6烷基,或CF3;
L2是m價的C2-30亞烷基、C3-30亞環烷基,C6-30亞芳基,C7-30亞芳烷基基團,
n是1或2,并且
Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基,C3-20環烷基,C6-20芳基,C7-20芳烷基,或包含上述至少一種的組合。
4.如權利要求1所述的共聚物,其特征在于,所述堿溶性單體是:
或包含上述至少一種的組合,其中
Ra是H、F、C1-6烷基,或CF3;
X2是O或單鍵,并且
Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基,C3-20環烷基,C6-20芳基,C7-20芳烷基,或包含上述至少一種的組合。
5.如權利要求1所述的共聚物,其特征在于,所述其他單體是含有可酸脫保護的堿溶性基團的(甲基)丙烯酸酯單體、含有內酯官能團的(甲基)丙烯酸酯單體、含有不同于式(I)中堿溶性基團的堿溶性基團的(甲基)丙烯酸酯單體,或包含至少一種上述單體的組合。
6.如權利要求5所述的共聚物,其特征在于,所述可酸脫保護的單體包括:
或包含至少一種上述單體的組合,其中Ra是H、F、C1-10烷基,或C1-10氟烷基。
7.如權利要求5所述的共聚物,其特征在于,所述含有內酯的單體包含:
或包含至少一種上述單體的組合,其中Ra是H、F、C1-10烷基,或C1-10氟烷基。
8.如權利要求5所述的共聚物,其特征在于,所述其他堿溶性(甲基)丙烯酸酯單體包括:
或包含至少一種上述單體的組合,
其中Ra是H、F、C1-10烷基,或C1-10氟烷基,并且Rc是C1-4全氟化烷基基團。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于羅門哈斯電子材料有限公司,未經羅門哈斯電子材料有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210242995.3/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:空心槳葉專用污泥干燥機
- 下一篇:一種污水處理及再生循環利用裝置





