[發明專利]一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置

有效

• 申請號: 201210241762.1
• 申請日: 2012-07-12
• 公開（公告）號: CN102801369A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 張鳴;朱煜;蔣毅;成榮;楊開明;李鑫;穆海華;尹文生;余東東;胡金春
• 申請（專利權）人: 清華大學;北京華卓精科科技有限公司
• 主分類號: H02N15/00
• 分類號: H02N15/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置，所述雙臺交換系統（100）包括基臺（101）、兩個結構相同的硅片臺（102）和平面電機，平面電機定子（201）采用平面永磁陣列，固定安裝在基臺上；平面電機動子（202）采用氣浮支承，底部為線圈陣列（202a），兩個硅片臺（102）與所述平面電機動子（202）固定連接，其特征在于：所述電流環輔助整定裝置（300）包括整定基座（303）、整定磁鋼陣列（301）、移動部件（302）和驅動器組件（103）；

所述整定磁鋼陣列（301）固定安裝在整定基座（303）上，整定磁鋼陣列（301）的排布方式與所述雙臺交換系統（100）的平面永磁陣列的排布方式一致；

所述移動部件（302）包括導軌基座（3020）、第一導軌（3021）、第二導軌（3027）、第三導軌（3028）、第一滑塊（3022）、第二滑塊（3023）、第三滑塊（3025）、第四滑塊（3026）、第一橫梁（3024）和第二橫梁（3029）；

其中導軌基座（3020）固定安裝在整定基座（303）上，第一導軌（3021）沿X方向固定在導軌基座（3020）上；第一滑塊（3022）、第二滑塊（3023）、第三滑塊（3025）和第四滑塊（3026）均與第一橫梁（3024）固定連接，且第一滑塊（3022）和第二滑塊（3023）在第一導軌（3021）上沿導軌運動；第二導軌（3027）在第三滑塊（3025）上沿Y方向運動，第三導軌（3028）在第四滑塊（3026）上沿Y方向運動；第二導軌（3027）和第三導軌（3028）通過第二橫梁相連接；

所述驅動器組件（103）包括與平面電機線圈個數相同的多個驅動器，每組線圈對應一個驅動器，分別對線圈進行電流環整定。

2.根據權利要求1所述的一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置，其特征在于：所述的整定磁鋼陣列（301）的尺寸大小為平面電機動子（202）尺寸的1.2～2倍。