[發明專利]金屬件清洗方法及涂敷裝置

有效

• 申請號: 201210241658.2
• 申請日: 2012-07-12
• 公開（公告）號: CN102873052A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 林田健兒;川竹洋;堀內展雄;伊藤禎彥;釜谷學
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社;東麗工程株式會社
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B05C9/08
• 代理公司: 北京瑞盟知識產權代理有限公司 11300
• 代理人: 劉昕

技術領域

本發明涉及一種清洗向基板吐出涂敷液的金屬件的金屬件清洗方法、以及能夠實施該清洗方法的涂敷裝置。

背景技術

在液晶顯示器等平板顯示器、太陽能電池面板等中使用形成有像素、電路圖案等的基板，這樣的基板例如通過使用涂敷抗蝕液（涂敷液）而進行的光刻蝕技術來制作。

作為對基板涂敷液的裝置，已知有具有在寬度方向上較長的縫隙形成于內部的金屬件的涂敷裝置。根據該涂敷裝置，在使金屬件相對于基板水平移動的同時，從縫隙吐出涂敷液，從而能夠在基板表面形成涂敷液的膜。

利用該涂敷裝置長時間持續進行涂敷作業時，有時涂敷液的固化物或者混入涂敷液的異物等粘著物會粘著在縫隙、縫隙開口的金屬件前端、以及金屬件前端的外側面等，這些粘著物可能會影響涂敷液的吐出，從而產生涂敷缺陷。

因此，有人提出了例如專利文獻1中所公開的清洗金屬件的清洗裝置。

該清洗裝置包括：儲存清洗液并用于將金屬件前端浸漬在該清洗液中的清洗槽；以及用于使清洗液流入金屬件（縫隙）的流路。并且，在該流路的途中設置有對清洗液施加超聲波振動的超聲波振蕩器，通過該超聲波振動使金屬件內部粘著的粘著物浮起，提高清洗效果。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本發明專利公開第2007－253093號公報（參照圖1、圖2、圖3）

發明內容

采用專利文獻1所述的清洗裝置時，由于對清洗液施加超聲波振動的位置在清洗液流動的流路的途中遠離金屬件（縫隙），因此超聲波的振動能量衰減，不能期待其提高對金屬件的清洗效果。

因此，為了使對清洗液施加超聲波振動的位置在金屬件前端附近，例如，考慮在用于儲存清洗液且用于使金屬件前端浸漬在該清洗液中的清洗槽的底部設置振子，通過該振子對清洗液施加振動波（超聲波振動），從而進行金屬件的清洗。

但是，如上所述，利用在浸漬在清洗液中的金屬件前端附近設置的振子，只對清洗液施加振動波（超聲波振動），雖然能夠清洗縫隙開口的金屬件前端及金屬件前端的外側面，但是，對清洗液施加的振動波（基于振動波的空穴現象）不能到達開口寬度非常窄的縫隙（特別是離金屬件前端遠的縫隙內部），所以不能夠清洗縫隙的粘著物。

因此，為使對清洗液施加的振動波（基于振動波的空穴現象）到達金屬件的縫隙（縫隙內部），可以考慮從金屬件前端吸引施加了振動波（超聲波振動）的清洗液的方法。

但是，粘著有粘著物的區域由于粘著物的阻力，使清洗液難以流動，因此，僅從金屬件吸引含空穴現象的清洗液，清洗液避開粘著物而流動，空穴現象不能到達粘著物，因而不能有效地清洗粘著物。

即，在現有技術中，清洗作用弱，在寬度方向上較長的縫隙（金屬件）的整體上難以得到沒有斑點的清洗結果，另外，為了得到期望的清洗結果，需要反復進行清洗，需要大量的清洗時間。由于需要至重新開始涂敷作業為止的時間，因而妨礙生產效率的提高。

因此，本發明的目的在于提供一種能夠使現有技術中由于振動波（基于振動波的空穴現象）的傳播不充分而殘留的粘著物浮起、能夠在短時間內效率良好地得到沒有斑點的期望的清洗結果的金屬件清洗方法，以及能夠實施該清洗方法的涂敷裝置。

本發明的金屬件的清洗方法的特征在于，該金屬件內形成有在該金屬件寬度方向上長、且在該金屬件的前端開口的縫隙，該清洗方法包括：第1流入工序，使金屬件前端浸漬在清洗槽內的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向金屬件內部流入；氣體流入工序，從在所述第1流入工序中使清洗液向金屬件內部流入的狀態，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內部；以及第2流入工序，在所述氣體流入工序后，使所述金屬件前端浸漬在所述清洗槽內的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向所述金屬件內部流入。

根據本發明，在第1流入工序中，通過使施加了振動波的清洗液向金屬件內部流入，能夠使粘著在金屬件內部的粘著物浮起。并且，通過從使清洗液向金屬件內部流入的狀態，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入金屬件內部，能夠使氣體和清洗液的氣液界面一齊在縫隙的寬度方向的全長移動。其結果，在金屬件內部獲得粘著物剝離效果的同時，在第2流入工序中，在再次使施加了振動波的清洗液流向金屬件內部之際，振動波（基于振動波的空穴現象）傳播的狀態（路徑）被從第1流入工序改變，能夠使因振動波的傳播不充分而殘留的粘著物浮起。其結果，能夠在短時間內得到期望的清洗結果。