[發明專利]金屬件清洗方法及涂敷裝置

有效

• 申請號: 201210241658.2
• 申請日: 2012-07-12
• 公開（公告）號: CN102873052A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 林田健兒;川竹洋;堀內展雄;伊藤禎彥;釜谷學
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社;東麗工程株式會社
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B05C9/08
• 代理公司: 北京瑞盟知識產權代理有限公司 11300
• 代理人: 劉昕

1.一種金屬件的清洗方法，該金屬件內形成有在該金屬件寬度方向上長、且在該金屬件的前端開口的縫隙，該清洗方法包括：

第1流入工序，使金屬件前端浸漬在清洗槽內的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向金屬件內部流入；

氣體流入工序，從在所述第1流入工序中使清洗液向金屬件內部流入的狀態，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內部；以及

第2流入工序，在所述氣體流入工序后，使所述金屬件前端浸漬在所述清洗槽內的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向所述金屬件內部流入。

2.根據權利要求1所述的金屬件的清洗方法，其中，在所述氣體流入工序中，通過使所述金屬件前端與所述清洗液的液面分離，從而使氣體在所述縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內部。

3.根據權利要求1或者2所述的金屬件的清洗方法，還包括：

氣體排出工序，通過被在所述第1流入工序及所述第2流入工序中從所述縫隙流入的清洗液充滿的流路，將所述清洗液返回至所述清洗槽，并從所述流路將在所述氣體流入工序中流入的氣體通過與所述縫隙不同的排出流路排出。

4.根據權利要求1～3中任意一項所述的金屬件的清洗方法，還包括：

整理工序，在使所述金屬件前端浸漬在所述清洗槽內的清洗液中的狀態下，在所述第1流入工序及所述第2流入工序中的一方或者雙方中使清洗液向所述金屬件內部一側流入后，從所述縫隙向該清洗槽吐出清洗液；

在該整理工序中，在對所述清洗槽中的清洗液施加振動波的狀態下，使浸漬在該清洗槽內的清洗液中的所述金屬件前端從該清洗液的液面離開。

5.根據權利要求1～3中任意一項所述的金屬件的清洗方法，其中，還包括：整理工序，在使所述金屬件前端浸漬在所述清洗槽內的清洗液中的狀態下，在所述第1流入工序及所述第2流入工序中的一方或者雙方中使清洗液向所述金屬件內部一側流入后，從所述縫隙向該清洗槽吐出清洗液；

在該整理工序中，在使清洗液向所述清洗槽吐出的途中停止對該清洗槽內的清洗液施加振動波。

6.根據權利要求1～5中任意一項所述的金屬件的清洗方法，還包括：

更換工序，在通過使超聲波振子以低頻率振動以產生所述振動波而進行的所述第1流入工序及所述第2流入工序之后，在再次進行所述第1流入工序的情況下，在再次進行該第1流入工序前至少更換一部分所述清洗槽中的清洗液。

7.根據權利要求1～6中任意一項所述的金屬件的清洗方法，還包括：

連續更換工序，在通過使超聲波振子以低頻率振動以產生所述振動波的期間，至少更換一部分所述清洗槽中的清洗液。

8.一種涂敷裝置，其特征在于，包括：

裝置主體，其具有金屬件，在該金屬件內形成有在該金屬件的寬度方向上長、且在該金屬件前端開口的縫隙，從該縫隙向基板吐出涂敷液進行涂敷；以及

清洗結構，其清洗所述金屬件，

所述清洗結構包括：

清洗槽，其儲存清洗液；

振蕩裝置，其對所述清洗槽內的所述清洗液施加振動波；

輸液單元，其在使金屬件前端浸漬在所述清洗槽內的施加了振動波的清洗液中的狀態下，使該清洗液通過所述縫隙向金屬件內部流入；

以及

控制裝置，進行控制，使得從通過所述輸液單元使清洗液向金屬件內部流入的狀態，氣體在該縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內部。

9.根據權利要求8所述的涂敷裝置，還包括：

位置變更單元，其變更所述清洗槽內的清洗液的液面與所述金屬件前端的高度方向的相對位置；

所述控制裝置控制所述位置變更單元，使所述金屬件前端與所述清洗液的液面在高度方向上分離，從而使氣體在所述縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內部。

10.根據權利要求8或者9所述的涂敷裝置，其中，還包括：

清洗液返回部，其利用所述輸液單元，通過被從所述縫隙流入的清洗液充滿的流路，將清洗液返回到所述清洗槽；以及

排出流路，其使從所述縫隙流入的氣體排出到所述清洗槽以外的區域。