[發明專利]氣液混合流體生成裝置、氣液混合流體生成方法、處理裝置以及處理方法

有效

• 申請號: 201210234338.4
• 申請日: 2012-07-06
• 公開（公告）號: CN102861521A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 廣瀨治道
• 申請（專利權）人: 芝浦機械電子株式會社
• 主分類號: B01F5/00
• 分類號: B01F5/00;B01F3/04;H01L21/304;B08B3/08
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種氣液混合流體生成裝置，其特征在于，具備：

容器；

液體供給流路，與上述容器內連通，用于將溶解有氣體的液體向上述容器內供給；

內壓調整部，能夠將上述容器切換為密閉狀態和開放狀態，在從上述液體供給流路向上述容器進行送液的期間，使上述容器為開放狀態而使上述容器的內壓小于將上述液體供給流路內的上述液體向上述容器推壓的壓力；以及

氣體供給流路，與上述容器內連通，用于向被供給了上述液體的密閉狀態的上述容器內的空間供給氣體。

2.如權利要求1所述的氣液混合流體生成裝置，其特征在于，

具備液體排出流路，該液體排出流路與上述容器內連通，用于排出上述容器內的上述液體；

通過從上述氣體供給流路流入上述容器內的空間的上述氣體，使上述容器內的上述液體從上述液體排出流路排出。

3.如權利要求2所述的氣液混合流體生成裝置，其特征在于，

具備判斷部，該判斷部判斷從上述氣體的供給開始起是否經過了規定時間；

在通過上述判斷部判斷為從上述氣體的供給開始起經過了上述規定時間的情況下，通過從上述氣體供給流路流入上述容器內的空間的上述氣體，使上述容器內的上述液體從上述液體排出流路排出。

4.如權利要求1~3中任一項所述的氣液混合流體生成裝置，其特征在于，

上述內壓調整部，在從利用上述容器內的上述液體進行處理的多個處理對象物中最后的處理結束起到接下來的最初的處理開始為止的期間，使上述容器為開放狀態而使上述容器的內壓小于將上述液體供給流路內的上述液體向上述容器推壓的壓力。

5.如權利要求1~3中任一項所述的氣液混合流體生成裝置，其特征在于，

在流過上述液體供給流路的上述液體中溶解的上述氣體與流過上述氣體供給流路的上述氣體為不同種類的氣體。

6.一種氣液混合流體生成方法，其特征在于，具有以下工序：

使用于供給溶解有氣體的液體的液體供給流路所連通的容器為開放狀態而使上述容器的內壓小于將上述液體供給流路內的上述液體向上述容器推壓的壓力、并向上述容器內供給上述液體的工序；

使供給了上述液體的開放狀態的上述容器為密閉狀態的工序；以及

向供給了上述液體的密閉狀態的上述容器內的空間供給氣體的工序。

7.一種處理裝置，其特征在于，具備：

容器；

液體供給流路，與上述容器內連通，用于將溶解有氣體的液體向上述容器內供給；

內壓調整部，能夠將上述容器切換為密閉狀態和開放狀態，在從上述液體供給流路向上述容器進行送液的期間，使上述容器為開放狀態而使上述容器的內壓小于將上述液體供給流路內的上述液體向上述容器推壓的壓力；

氣體供給流路，與上述容器內連通，用于向被供給了上述液體的密閉狀態的上述容器內的空間供給氣體；以及

處理液供給流路，與上述容器內連通，用于將上述容器內的上述液體向處理對象物供給。

8.一種處理方法，其特征在于，具有以下工序：

使用于供給溶解有氣體的液體的液體供給流路所連通的容器為開放狀態而使上述容器的內壓小于將上述液體供給流路內的上述液體向上述容器推壓的壓力、并向上述容器內供給上述液體的工序；

使供給了上述液體的開放狀態的上述容器為密閉狀態的工序；

向供給了上述液體的密閉狀態的上述容器內的空間供給氣體的工序；以及

將供給了上述氣體的上述容器內的上述液體向處理對象物供給的工序。