[發(fā)明專利]有機層沉積設(shè)備、有機發(fā)光顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210228413.6
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN102867924B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張錫洛;南命佑;康熙哲;金鐘憲;洪鐘元;蔣允豪
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;H01L21/677;C23C14/12
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11286
• 代理人: 韓明星

本申請要求于2011年7月4日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2011-0066124號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該韓國專利申請的公開通過引用全部包含于此。

技術(shù)領(lǐng)域

根據(jù)本發(fā)明實施例的多個方面涉及一種有機層沉積設(shè)備和一種通過利用該有機層沉積設(shè)備來制造有機發(fā)光顯示裝置的方法。

背景技術(shù)

有機發(fā)光顯示裝置與其他顯示裝置相比具有較大的視角、較好的對比度特性和較快的響應(yīng)速度，因此作為下一代顯示裝置而備受關(guān)注。

有機發(fā)光顯示裝置通常具有包括陽極、陰極及置于陽極和陰極之間的發(fā)射層的堆疊結(jié)構(gòu)。當(dāng)分別從陽極和陰極注入的空穴和電子在發(fā)射層中復(fù)合而發(fā)光時，這樣的裝置顯示有顏色的圖像。然而，利用這種結(jié)構(gòu)難以實現(xiàn)高的發(fā)光效率，因此包括電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層、空穴注入層等的中間層可以額外地置于發(fā)射層和每個電極之間。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明實施例的多個方面在于提供一種有機層沉積設(shè)備和一種利用該有機層沉積設(shè)備制造有機發(fā)光顯示裝置的方法，該有機層沉積設(shè)備可以容易地制造，可以應(yīng)用于以簡單的方式大規(guī)模地制造大型顯示裝置，并且提高了制造產(chǎn)率和沉積效率。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了一種有機層沉積設(shè)備，所述有機層沉積設(shè)備包括：靜電吸盤，用來支撐基板；沉積單元，包括保持一定真空的室以及有機層沉積組件，有機層沉積組件用來在由靜電吸盤支撐的基板上沉積至少一層有機層；第一輸送器單元，穿過所述室并且用來將支撐基板的靜電吸盤移動到沉積單元中，其中，第一輸送器單元包括引導(dǎo)單元，引導(dǎo)單元包括接納構(gòu)件，以使靜電吸盤與第一輸送器單元分隔開的同時使靜電吸盤可沿著一定的方向移動，其中，基板與有機層沉積組件分隔開，基板或有機層沉積組件被構(gòu)造成在沉積過程中相對于另一者移動。

在一個實施例中，有機層沉積設(shè)備還包括：裝載單元，用來將基板固定到靜電吸盤；卸載單元，用來使已經(jīng)完成沉積的基板與靜電吸盤分離。第一輸送器單元可以被構(gòu)造為將靜電吸盤順序地移動到裝載單元、沉積單元和卸載單元。有機層沉積設(shè)備還可以包括第二輸送器單元，用來使與基板分離的靜電吸盤從卸載單元返回到裝載單元。

在一個實施例中，引導(dǎo)單元包括：驅(qū)動單元，用來產(chǎn)生移動靜電吸盤的驅(qū)動力；磁懸浮軸承，用來使靜電吸盤懸浮在接納構(gòu)件上方而不與接納構(gòu)件接觸地移動。驅(qū)動單元可以包括線性電機。線性電機可以包括設(shè)置在靜電吸盤的一側(cè)的磁軌和設(shè)置在接納構(gòu)件中的線圈。磁懸浮軸承可以包括設(shè)置在靜電吸盤一側(cè)的側(cè)部磁懸浮軸承和設(shè)置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承，驅(qū)動單元可以設(shè)置在靜電吸盤的一側(cè)。磁懸浮軸承可以包括從由電磁體、永磁體、超導(dǎo)磁體和它們的組合組成的組中選擇的磁體。

在一個實施例中，有機層沉積設(shè)備還包括間隙傳感器，用來測量接納構(gòu)件與靜電吸盤之間的間隙。所述有機層沉積設(shè)備還可以包括由間隙傳感器控制的磁懸浮軸承，以提供使靜電吸盤懸浮在接納構(gòu)件上方的磁力。磁懸浮軸承可以包括設(shè)置在靜電吸盤一側(cè)的側(cè)部磁懸浮軸承和設(shè)置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承。間隙傳感器可以包括：第一間隙傳感器，用來測量靜電吸盤與第一輸送器單元之間的沿著第一方向的間隙；第二間隙傳感器，用來測量靜電吸盤與第一傳感器單元之間的沿著與第一方向交叉的第二方向的間隙。

在一個實施例中，有機層沉積設(shè)備還包括：第一磁懸浮軸承，用來使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著第一方向分隔開；第二磁懸浮軸承，用來使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著與第一方向交叉的第二方向分隔開。

在一個實施例中，接納構(gòu)件包括用來接納靜電吸盤的相對的側(cè)部的接納槽。

在一個實施例中，有機層沉積組件包括設(shè)置在所述室中的多個有機層沉積組件。

在一個實施例中，所述室包括彼此互連的第一室和第二室，有機層沉積組件包括設(shè)置在第一室和第二室中的每個室中的多個有機層沉積組件。

在一個實施例中，有機層沉積組件包括：沉積源，被構(gòu)造為排放沉積材料；沉積源噴嘴單元，設(shè)置在沉積源的一側(cè)并且包括多個沉積源噴嘴；圖案化縫隙片，設(shè)置成與沉積源噴嘴單元面對并分隔開，具有多個圖案化縫隙，并且比基板小。

根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，提供了一種有源矩陣有機發(fā)光顯示裝置，所述有源矩陣有機發(fā)光顯示裝置包括：基板，具有至少40英寸的尺寸；利用上述有機層沉積設(shè)備形成在基板上的具有線性圖案的至少一層有機層。

在一個實施例中，所述至少一層有機層包括發(fā)射層(EML)。所述至少一層有機層還可以包括從由空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層(HTL)、電子傳輸層(ETL)、電子注入層(TIL)和它們的組合組成的組中選擇的層。