[發明專利]有機層沉積設備、有機發光顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201210228413.6
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN102867924B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 張錫洛;南命佑;康熙哲;金鐘憲;洪鐘元;蔣允豪
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;H01L21/677;C23C14/12
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 韓明星

1.一種有機層沉積設備，所述有機層沉積設備包括：

靜電吸盤，用來支撐基板；

沉積單元，包括用來保持一定真空的室以及有機層沉積組件，有機層沉積組件用來在由靜電吸盤支撐的基板上沉積至少一層有機層；以及

第一輸送器單元，穿過所述室并且用來將支撐基板的靜電吸盤移動到沉積單元中，

其中，第一輸送器單元包括引導單元，引導單元包括接納構件，以使在靜電吸盤與第一輸送器單元分隔開的同時使靜電吸盤能夠沿著一定的方向移動，

其中，基板與有機層沉積組件分隔開，基板或有機層沉積組件被構造成在沉積過程中相對于另一者移動。

2.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，所述有機層沉積設備還包括：

裝載單元，將基板固定到靜電吸盤；

卸載單元，用來使已經完成沉積的基板與靜電吸盤分離。

3.根據權利要求2所述的有機層沉積設備，其中，第一輸送器單元被構造為將靜電吸盤順序地移動到裝載單元、沉積單元和卸載單元。

4.根據權利要求2所述的有機層沉積設備，所述有機層沉積設備還包括第二輸送器單元，以使與基板分離的靜電吸盤從卸載單元返回到裝載單元。

5.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，引導單元包括：

驅動單元，用來產生移動靜電吸盤的驅動力；

磁懸浮軸承，用來使靜電吸盤懸浮在接納構件上方而不與接納構件接觸地移動。

6.根據權利要求5所述的有機層沉積設備，其中，驅動單元包括線性電機。

7.根據權利要求6所述的有機層沉積設備，其中，線性電機包括設置在靜電吸盤的一側處的磁軌和設置在接納構件中的線圈。

8.根據權利要求5所述的有機層沉積設備，其中，磁懸浮軸承包括設置在靜電吸盤一側處的側部磁懸浮軸承和設置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承，驅動單元設置在靜電吸盤的一側處。

9.根據權利要求5所述的有機層沉積設備，其中，磁懸浮軸承包括從由電磁體、永磁體、超導磁體和它們的組合組成的組中選擇的磁體。

10.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，所述有機層沉積設備還包括間隙傳感器，以測量接納構件與靜電吸盤之間的間隙。

11.根據權利要求10所述的有機層沉積設備，所述有機層沉積設備還包括由間隙傳感器控制的磁懸浮軸承，以提供使靜電吸盤懸浮在接納構件上方的磁力。

12.根據權利要求11所述的有機層沉積設備，其中，磁懸浮軸承包括設置在靜電吸盤一側處的側部磁懸浮軸承和設置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承。

13.根據權利要求12所述的有機層沉積設備，其中，間隙傳感器包括：第一間隙傳感器，用來測量靜電吸盤與第一輸送器單元之間的沿著第一方向的間隙；第二間隙傳感器，用來測量靜電吸盤與第一傳感器單元之間的沿著與第一方向交叉的第二方向的間隙。

14.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，所述有機層沉積設備還包括：

第一磁懸浮軸承，用來使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著第一方向分隔開；

第二磁懸浮軸承，用來使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著與第一方向交叉的第二方向分隔開。

15.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，接納構件包括用來接納靜電吸盤的相對的側部的接納槽。

16.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，有機層沉積組件包括設置在所述室中的多個有機層沉積組件。

17.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，所述室包括彼此互連的第一室和第二室，有機層沉積組件包括設置在第一室和第二室中的每個室中的多個有機層沉積組件。

18.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，有機層沉積組件包括：

沉積源，被構造為排放沉積材料；

沉積源噴嘴單元，設置在沉積源的一側處并且包括多個沉積源噴嘴；

圖案化縫隙片，設置成與沉積源噴嘴單元面對并分隔開，具有多個圖案化縫隙，并且比基板小。