[發明專利]集成電路變壓器

有效

• 申請號: 201210227749.0
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN102867809A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 洪建州;張正佶;李東興;黃偉哲
• 申請（專利權）人: 聯發科技股份有限公司
• 主分類號: H01L23/522
• 分類號: H01L23/522;H01L23/538;H01F27/28
• 代理公司: 北京萬慧達知識產權代理有限公司 11111
• 代理人: 于淼;楊穎

技術領域

本發明是有關于一種集成電路變壓器，特別是有關于一種具高耦合系數(k)的集成電路變壓器。

背景技術

為了模擬和射頻(RF)產品的不同應用，變壓器因而逐漸地集成于芯片上。變壓器的其中一個要求為高耦合系數(k)。變壓器的耦合系數(k)取決于同時穿過變壓器的主線圈(primary?winding)和副線圈(secondary?winding)兩者的總磁通量(flux?lines)。高耦合系數意指會有高能量從主線圈傳遞至副線圈，在傳輸期間變壓器會有低的能量損失。

現有的集成電路變壓器通常會以增加主線圈和副線圈的匝數(turn?counts)來改善變壓器的耦合系數(k)。然而，越多的線圈匝數會需要越大的布局面積，因而會增加制造成本。

因此，需要一種新型的具高耦合系數(k)的集成電路變壓器。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供新型的具高耦合系數(k)的集成電路變壓器。

本發明揭露的一個實施例提供一種集成電路變壓器，設置于基板上。集成電路變壓器包括第一線圈狀金屬圖案，設置于基板上，第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分；第二線圈狀金屬圖案，設置于基板上，且橫向位于內圈部分和外圈部分之間；介電層，設置于第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案上；第一通孔，穿過介電層形成，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案其中之一；第一重布線圖案，設置于介電層上，電性連接至第一通孔且沿第一通孔延伸，其中第一重布線圖案覆蓋至少一部分第一線圈狀金屬圖案和至少一部分第二線圈狀金屬圖案。

本發明揭露的另一實施例提供一種集成電路變壓器，設置于基板上。集成電路變壓器包括第一線圈狀金屬圖案，設置于基板上，第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分；第二線圈狀金屬圖案，設置于基板上，且橫向位于內圈部分和外圈部分之間；第一T型導電物，設置于第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案上，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案其中之一，其中第一T型導電物覆蓋第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案兩者。

本發明所提出的集成電路變壓器，通過重布線圖案與通孔，能夠增強集成電路變壓器的耦合系數(k)。

附圖說明

圖1a為本發明一實施例的集成電路變壓器的上視圖。

圖1b為沿圖1a的A-A'切線的剖面圖。

圖2a為本發明另一實施例的集成電路變壓器的上視圖。

圖2b為沿圖2a的A-A'切線的剖面圖。

圖2c為沿圖2a的B-B’切線的剖面圖。

圖3a為本發明又另一實施例的集成電路變壓器的上視圖。

圖3b為沿圖3a的A-A'切線的剖面圖。

圖3c為沿圖3a的B-B’切線的剖面圖。

圖4a為本發明更又另一實施例的集成電路變壓器的上視圖。

圖4b為沿圖4a的A-A'切線的剖面圖。

具體實施方式

以下以各實施例詳細說明并伴隨著附圖說明的范例，作為本發明的參考依據。在附圖或說明書描述中，相似或相同的部分皆使用相同的圖號。且在附圖中，實施例的形狀或是厚度可擴大，并以簡化或是方便標示。再者，附圖中各組件的部分將分別描述說明，值得注意的是，圖中未繪示或描述的組件，為所屬技術領域中具有通常知識者所知的形式。