[發明專利]集成電路變壓器

有效

• 申請號: 201210227749.0
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN102867809A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 洪建州;張正佶;李東興;黃偉哲
• 申請（專利權）人: 聯發科技股份有限公司
• 主分類號: H01L23/522
• 分類號: H01L23/522;H01L23/538;H01F27/28
• 代理公司: 北京萬慧達知識產權代理有限公司 11111
• 代理人: 于淼;楊穎

1.一種集成電路變壓器，設置于基板上，包括：

第一線圈狀金屬圖案，設置于該基板上，該第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分；

第二線圈狀金屬圖案，設置于該基板上，且橫向位于該內圈部分和該外圈部分之間；

介電層，設置于該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上；

第一通孔，穿過該介電層形成，且電性連接至該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案的其中之一；以及

第一重布線圖案，設置于該介電層上，電性連接至該第一通孔且沿該第一通孔延伸，其中該第一重布線圖案覆蓋至少一部分該第一線圈狀金屬圖案和至少一部分該第二線圈狀金屬圖案。

2.如權利要求1所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一通孔電性連接至該外圈部分，且該第一重布線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。

3.如權利要求1所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一通孔電性連接至該內圈部分，且該第一重布線圖案從該內圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。

4.如權利要求2或3所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一重布線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該第一線圈狀金屬圖案的第一邊緣和該第二線圈狀金屬圖案的第二邊緣。

5.如權利要求3所述的集成電路變壓器，其特征在于，更包括：

第二通孔，電性連接至該外圈部分；以及

第二重布線圖案，設置且延伸于該介電層上，電性連接至該第二通孔且沿該第二通孔延伸，其中該第二重布線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。

6.如權利要求5所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一重布線圖案和該第二重布線圖案彼此隔開。

7.如權利要求1所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一通孔電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重布線圖案從該內圈部分橫向延伸至該外圈部分。

8.如權利要求7所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一重布線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該內圈部分的第三邊緣和該外圈部分的第四邊緣。

9.如權利要求1所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一通孔電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重布線圖案從該第二線圈狀金屬圖案橫向延伸至該內圈部分或該外圈部分。

10.如權利要求9所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一重布線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該第二線圈狀金屬圖案的第三邊緣和該內圈部分或該外圈部分的第四邊緣。

11.如權利要求1所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一重布線圖案的寬度等于該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分之間間隙的寬度。

12.如權利要求1所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一重布線圖案的寬度小于該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分或該外圈部分之間間隙的寬度。

13.如權利要求1所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案設置于相同層別。

14.一種集成電路變壓器，設置于基板上，包括：

第一線圈狀金屬圖案，設置于該基板上，該第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分；

第二線圈狀金屬圖案，設置于該基板上，且橫向位于該內圈部分和該外圈部分之間；以及

第一T型導電物，設置于該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上，且電性連接至該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案其中之一，其中該第一T型導電物覆蓋該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案兩者。

15.如權利要求14所述的集成電路變壓器，其特征在于，該第一T型導電物包括：

第一通孔，穿過位于該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上的介電層形成；以及

第一重布線圖案，設置于該介電層上，電性連接至該第一通孔且沿該第一通孔延伸。