[發明專利]陣列基板制作方法

有效

• 申請號: 201210227079.2
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN102723311A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 楊瀟宇;張小松;楊玖娟
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L21/66;G02F1/1362
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本發明涉及液晶顯示設備的短路檢測技術領域，特別是涉及一種陣列基板制作方法。

背景技術

GOA（Gate?Driver?on?Array，陣列基板行驅動）技術是液晶顯示領域的新興技術，是直接將柵極驅動電路制作在陣列基板上，來代替由外接硅片制作的驅動芯片的一種工藝技術。該技術的應用可減少生產工藝程序,降低產品工藝成本,提高TFT-LCD面板的集成度。

目前20英寸GOA產品的柵極圖案設計是：柵線和公共電極線在像素區的兩側都是懸空設計，根據現有的斷路/短路測試機設備檢測原理，這在出現GCS（柵線與公共電極線短路）不良時對于斷路/短路測試機的傳感器接收的信號影響不大，不足以判定為短路不良（如圖1、圖2所示），因此不利于進行短路不良檢測，但是未檢測出的GCS不良會直接造成液晶面板點燈異常，使面板等級為NG，對良率影響大。其中，圖1、圖2中示出了相鄰兩個像素單元的柵線1和公共電極線2，其中6為短路線，表明柵線1與公共電極線2發生短路。

發明內容

（一）要解決的技術問題

本發明要解決的技術問題是：如何提高陣列基板制作過程中對柵線和公共電極線短路的檢出能力。

（二）技術方案

為了解決上述技術問題，本發明提供一種陣列基板制作方法，包括以下步驟：

S1、在柵極層的制備過程中，在柵極層像素區一側設置一條檢測線，用所述檢測線將所有像素單元的公共電極線連接在一起，形成柵極圖案；

S2、進行短路或斷路檢測，若柵線接收端收到的信號比柵線發送端發出的信號低預設的檢測閾值，則判斷柵線與公共電極線短路或者柵線斷路。

優選地，在步驟S2之后，還執行以下步驟：

S3、在鈍化層的制備過程中，將所述檢測線周圍的鈍化層材料刻蝕掉，露出柵極層；

S4、在公共電極層的制備過程中，將所露出的柵極層刻蝕掉，使所有像素單元的公共電極線分開。

優選地，步驟S2由斷路/短路測試機執行。

優選地，步驟S2中在判斷柵線與公共電極線短路或者柵線斷路之后，還通過所述斷路/短路測試機的位置檢測傳感器沿著柵線查找短路或斷路的位置。

（三）有益效果

上述技術方案具有如下優點：通過在現有柵極圖案上將公共電極線在像素區一側用檢測線連接在一起，便于斷路/短路測試機在對陣列基板檢測時檢測出短路或斷路不良，從而提高陣列基板制作過程中對柵線和公共電極線短路或柵線斷路的檢出能力，可以避免由未檢測出GCS不良而造成液晶面板點燈異常的情況發生；這條檢測線僅用于短路或斷路測試，在后工藝中被刻蝕掉，因此不會影響成型的陣列基板的正常信號傳輸。

附圖說明

圖1是現有20英寸的GOA產品的柵極圖案的示意圖；

圖2是現有20英寸的GOA產品的柵極圖案的電路圖；

圖3是本發明實施例的方法流程圖；

圖4是本發明實施例的方法中所使用的柵極圖案的示意圖；

圖5是本發明實施例的方法中所使用的柵極圖案的電路圖；

圖6是執行實施例的方法中步驟S1之后圖5中A-A’向剖面圖；

圖7是執行實施例的方法中步驟S2、S3之后圖5中A-A’向剖面圖；

圖8是執行實施例的方法中步驟S4之后圖5中A-A’向剖面圖。

其中，1：柵線；2：公共電極線；3：檢測線；4：信號發送端；5：信號接收端；6：短路線；7：PVX；8：柵極層；9：ITO；10：SiNx。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發明，但不用來限制本發明的范圍。

實施例一

如圖3所示，本發明提供一種陣列基板制作方法，包括以下步驟：

S1、在柵極層8的制備過程中，在柵極層像素區一側設置一條檢測線3，用所述檢測線3將所有像素單元的公共電極線2連接在一起，形成柵極圖案，如圖4、圖5所示；圖4、圖5中示出了相鄰兩個像素單元的柵線1和公共電極線2，其中6為短路線，表明柵線1與公共電極線2發生短路。執行完步驟S1之后的圖5中A-A’向剖面圖如圖6所示。