[發明專利]陣列基板制作方法

有效

• 申請號: 201210227079.2
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN102723311A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 楊瀟宇;張小松;楊玖娟
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L21/66;G02F1/1362
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種陣列基板制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在柵極層的制備過程中，在柵極層像素區一側設置一條檢測線，用所述檢測線將所有像素單元的公共電極線連接在一起，形成柵極圖案；

S2、進行短路或斷路檢測，若柵線接收端收到的信號比柵線發送端發出的信號低預設的檢測閾值，則判斷柵線與公共電極線短路或者柵線斷路。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟S2之后，還執行以下步驟：

S3、在鈍化層的制備過程中，將所述檢測線周圍的鈍化層材料刻蝕掉，露出柵極層；

S4、在公共電極層的制備過程中，將所露出的柵極層刻蝕掉，使所有像素單元的公共電極線分開。

3.如權利要求1或2所述的方法，其特征在于，步驟S2由斷路/短路測試機執行。

4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，步驟S2中在判斷柵線與公共電極線短路或者柵線斷路之后，還通過所述斷路/短路測試機的位置檢測傳感器沿著柵線查找短路或斷路的位置。