[發明專利]晶片封裝體及其形成方法有效
| 申請號: | 201210227032.6 | 申請日: | 2012-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN102856336A | 公開(公告)日: | 2013-01-02 |
| 發明(設計)人: | 許傳進;林柏伸;張義民 | 申請(專利權)人: | 精材科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/146 | 分類號: | H01L27/146;H01L31/0216;H01L33/44 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇 |
| 地址: | 中國臺灣桃園縣中*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶片 封裝 及其 形成 方法 | ||
技術領域
本發明有關于晶片封裝體及其形成方法,且特別是有關于光電元件晶片封裝體及其形成方法。
背景技術
光感測元件或發光元件等光電元件在擷取影像或提供光線的應用中扮演著重要的角色。這些光電元件均已廣泛地應用于例如是數字相機(digital?camera)、數字視頻錄像機(digital?video?recorder)、移動電話(mobile?phone)、太陽能電池、屏幕、照明設備等的電子產品中。
隨著科技的演進,對于光感測元件的感測精準度或發光元件的發光精準度的需求亦隨之提高。
發明內容
本發明一實施例提供一種晶片封裝體,包括:一基底,具有一第一表面及一第二表面;一光電元件,形成于該基底之中;一導電層,設置于該基底之上,其中該導電層電性連接該光電元件;一絕緣層,設置于該基底與該導電層之間;一遮光層,設置于該基底的該第二表面之上,且直接接觸該導電層,其中該遮光層的遮光率大于80%,且具有露出該導電層的至少一開口;以及一導電凸塊,設置于該遮光層的該開口之中以電性接觸該導電層,其中該遮光層與該導電凸塊共同完全覆蓋該基底的該第二表面。
本發明所述的晶片封裝體,還包括一穿孔,自該第二表面朝該第一表面延伸,其中該絕緣層延伸于該穿孔的一側壁上,且延伸至該基底的該第二表面上,且該導電層延伸至該穿孔中的該絕緣層之上。
本發明所述的晶片封裝體,該遮光層延伸至該穿孔之中。
本發明所述的晶片封裝體,該遮光層順應性設置于該穿孔的該側壁上的該導電層之上。
本發明所述的晶片封裝體,該遮光層填充于該穿孔之中。
本發明所述的晶片封裝體,該遮光層填滿該穿孔。
本發明所述的晶片封裝體,該遮光層覆蓋該穿孔。
本發明所述的晶片封裝體,該遮光層完全不填入該穿孔。
本發明所述的晶片封裝體,該遮光層直接接觸該導電凸塊。
本發明所述的晶片封裝體,該導電凸塊完全填滿該遮光層的該開口。
本發明所述的晶片封裝體,還包括一透明基底,設置于該基底的該第一表面上。
本發明所述的晶片封裝體,還包括一間隔層,設置于該基底與該透明基底之間,其中該間隔層、該基底及該透明基底共同于該光電元件之上圍繞出一空腔。
本發明一實施例提供一種晶片封裝體的形成方法,包括:提供一基底,該基底具有一第一表面及一第二表面,其中該基底之中形成有至少一光電元件;于該基底上形成一絕緣層;于該基底上的該絕緣層之上形成一導電層,其中該導電層電性連接該至少一光電元件;于該基底的該第二表面上形成一遮光層,其中該遮光層直接接觸該導電層且具有露出該導電層的至少一開口,且該遮光層的遮光率大于80%;以及于該遮光層的該至少一開口中形成一導電凸塊以電性連接該導電層,其中該遮光層與該導電凸塊共同完全覆蓋該基底的該第二表面。
本發明所述的晶片封裝體的形成方法,還包括在形成該絕緣層之前,自該基底的該第二表面移除部分的該基底以形成朝該基底的該第一表面延伸的一穿孔,其中該絕緣層延伸于該穿孔的一側壁上,且該導電層延伸于該穿孔中的該絕緣層之上。
本發明所述的晶片封裝體的形成方法,該遮光層延伸于該穿孔中的該導電層之上。
本發明所述的晶片封裝體的形成方法,還包括沿著該基底上的多個預定切割道進行一切割制程以形成彼此分離的多個晶片封裝體。
本發明所述的晶片封裝體的形成方法,該導電凸塊的形成包括:于該遮光層的該至少一開口中填入一焊料;以及對該焊料進行一回焊制程以形成該導電凸塊。
本發明所述的晶片封裝體的形成方法,還包括于該基底的該第一表面上設置一透明基底。
本發明所述的晶片封裝體的形成方法,還包括于該基底與該透明基底之間設置一間隔層,其中該間隔層、該基底及該透明基底共同于該光電元件之上圍繞出一空腔。
本發明所述的晶片封裝體的形成方法,該遮光層的形成包括:于該基底的該第二表面上涂布一高分子溶液以形成一遮光材料層;以及對該遮光材料層進行一曝光制程及一顯影制程以形成該遮光層。
本發明可使晶片封裝體的運作更為順利、避免漏光問題的發生及節省制程成本與時間。
附圖說明
圖1A及1B分別顯示本申請發明人所知的一種晶片封裝體的剖面圖及其局部放大圖。
圖2A-2B顯示根據本發明一實施例的晶片封裝體的制程剖面圖。
圖3A-3C顯示根據本發明實施例的晶片封裝體的剖面圖。
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- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





