[發明專利]微粒物質傳感器單元的制造方法

有效

• 申請號: 201210224438.9
• 申請日: 2012-06-28
• 公開（公告）號: CN103163048B
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 李津夏;趙志晧;全國鎮;姜誠贊;張根豪
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社;起亞自動車株式會社;首爾大學校產學協力團
• 主分類號: G01N15/00
• 分類號: G01N15/00;F01N11/00;F01N13/08
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司11314
• 代理人: 程偉,周蕾

相關申請的交叉引用

本申請要求2011年12月9日向韓國知識產權局提交的韓國專利申請No.10-2011-0132255的優先權，該申請的全部內容通過該引用結合于此，以用于所有目的。

技術領域

本發明涉及一種微粒物質傳感器單元，其準確地和有效地檢測對用于過濾包括在排放氣體中的微粒物質（PM）的微粒過濾器的損害并將檢測信號傳遞至控制部分。

背景技術

柴油微粒過濾器（DPF）已被應用于柴油車輛以便于降低其PM，并且壓差傳感器被應用于檢測在所述柴油微粒過濾器中捕獲的PM量。

在未來，根據排放氣體規定，壓差傳感器將不再用于檢測對DPF 的損害，并且進一步地，所述壓差傳感器的檢測精度低。

公開于本發明背景部分的信息僅僅旨在增加對本發明的總體背景的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域技術人員所公知的現有技術。

發明內容

本發明的各個方面旨在提供一種微粒物質傳感器單元，其具有準確地檢測由微粒過濾器排出的PM（微粒物質）的量并且通過檢測的 PM量準確地檢測所述微粒過濾器的損害的優點。

在本發明的一個方面中，微粒物質（PM）傳感器單元可以包括排放氣體經過的排氣管路和PM傳感器，所述PM傳感器配置在所述排氣管路的一側并且當包括在所述排放氣體中的微粒物質經過其附近時產生信號，其中所述PM傳感器是靜電感應型的，其在帶有電荷的所述顆粒物質經過其附近時產生感應電荷。

所述PM傳感器可以包括突出物，其在所述PM傳感器的前表面部分上突出并且彼此之間以預定寬度的空隙和預定長度的空隙排列；加熱器電極，其在所述PM傳感器的后表面部分上形成以通過所供應的電流產生熱量并燃燒附著在所述前表面部分的微粒物質；以及傳感電極墊，其在鄰近所述加熱器電極處形成以向外界傳輸信號。

所述加熱器電極可以包括形成為曲折（zigzag）外形的部分。

所述PM傳感器可以包括硅樹脂電極層和絕緣層，所述絕緣層在所述硅樹脂電極層的前表面部分和后表面部分上形成以覆蓋所述硅樹脂電極層，其中在所述硅樹脂電極層的前表面部分上形成對應于所述突出物的突出的電極，并且所述絕緣層具有預定的厚度以覆蓋所述突出的電極。

所述絕緣層不在形成傳感電極墊的所述硅樹脂電極層的后表面部分上形成。

所述絕緣層可以包括覆蓋所述硅樹脂電極層的氧化物層，和覆蓋所述氧化物層的氮化物層。

所述突出物可以具有立方體、正六面體、球體、三角錐、四角錐和圓錐之一的外形。

在本發明的另一個方面中提出了一種微粒物質傳感器單元的制造方法，該方法可以包括清洗硅樹脂電極層，在所述硅樹脂電極層的全部前表面部分上形成防蝕層，從所述防蝕層中消除規定的圖案，通過所述防蝕層的已消除的部分將所述硅樹脂電極層的前表面部分蝕刻至預定的深度，通過消除所述防蝕層形成突出的電極，在全部前表面部分和后表面部分上形成絕緣層以覆蓋所述突出的電極，選擇性地消除在所述硅樹脂電極層的后表面部分上形成的所述絕緣層中的形成傳感電極墊的部分，在所述硅樹脂電極層的全部后表面部分上形成PR層，其中消除所述PR層的對應于加熱器電極的圖案化（patterned）的部分，在所述PR層和所述硅樹脂電極層上形成Pt層，和通過消除所述PR層在所述硅樹脂電極層上形成由所述Pt層形成的所述傳感電極墊和所述加熱器電極。

所述防蝕層通過沉積TEOS組分或噴射Al形成。

當從所述防蝕層中消除預定的圖案時，圖案化的掩模被用于選擇性地將所述防蝕層暴露于光線中，并且已暴露的部分采用蝕刻劑來消除。

所述絕緣層的形成在所述硅樹脂電極層的全部前表面部分和后表面部分上相繼形成氧化物層和氮化物層。

所述PR層圖案化的部分被消除的部分在形成PR層中可以具有負斜率。

所述Pt層在形成所述Pt層中可以具有Pt組分。

在本發明的一項示例性實施方案中，在柴油微粒過濾器（DPF）中捕獲的PM的量或者包括在排放氣體中的微粒物質被準確地評估以有效地應對加強的排放氣體規定。

本發明的方法和裝置具有其他的特性和優點，這些特性和優點從并入本文中的附圖和隨后的具體實施方式中將是顯而易見的，或者將在并入本文中的附圖和隨后的具體實施方式中進行詳細陳述，這些附圖和具體實施方式共同用于解釋本發明的特定原理。

附圖說明

圖1是顯示了根據本發明的一項示例性實施方案的微粒物質傳感器單元配置在排氣管路中的情況的示意性內部透視圖。