[發明專利]一種N型太陽能電池制作方法有效
| 申請號: | 201210222534.X | 申請日: | 2012-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN102709401A | 公開(公告)日: | 2012-10-03 |
| 發明(設計)人: | 張偉;李高非;胡志巖;熊景峰 | 申請(專利權)人: | 英利能源(中國)有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 王寶筠 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 制作方法 | ||
技術領域
本發明涉及太陽能電池制作工藝技術領域,更具體地說,涉及一種N型太陽能電池制作方法。
背景技術
在能源危機日益嚴重的今天,開發研制新能源成為當今能源領域一個主要課題。太陽能以其無污染、取之不竭以及無地域性限制等特點成為新能源開發研制的一個主要對象。
利用太陽電池進行光伏發電是當今利用太陽能的一個主要方式。太陽能電池的載體是硅片,根據其硅片摻雜類型的不同分為P型太陽能電池和N型太陽能電池。其中,N型太陽能電池由于比P型太陽能電池性能更為穩定,且具有更長的少子壽命,成為光伏行業的一個主要研制課題。
但是,現有的N型太陽能電池其光電轉換效率較低,因此,如何提高N型太陽能電池的光電轉換效率,是開發研制N型太陽能電池亟待解決的一個問題。
發明內容
為解決上述技術問題,本發明提供一種N型太陽能電池制作方法,采用該方法制備的太陽能電池具有較高的光電轉換效率。
為實現上述目的,本發明提供如下技術方案:
一種N型太陽能電池制作方法,該方法包括:
提供一待處理的硅片;
去除所述硅片表面的損傷層;
對所述硅片進行表面制絨;
對所述硅片進行清洗,以去除所述硅片表面殘留的金屬雜質;
對干燥后的所述硅片進行硼擴散。
優選的,在上述方法中,通過去離子水、雙氧水以及鹽酸組成的混合試劑對所述硅片進行清洗。
優選的,在上述方法中,所述混合試劑中,去離子水質量分數為97.5%-98.5%,雙氧水的質量分數為0.5%-1.5%,鹽酸的質量分數為0.5%-1.5%。
優選的,在上述方法中,清洗溫度為60℃-70℃,清洗時間為8min-12min。
優選的,在上述方法中,在所述混合試劑對所述硅片進行清洗之后,并在對干燥后所述硅片進行硼擴散之前還包括:采用去離子水對所述硅片進行清洗。
優選的,在上述方法中,采用去離子水對所述硅片進行清洗的時間為10min-15min。
優選的,在上述方法中,采用氫氧化鉀、雙氧水和去離子水組成的混合試劑去除所述硅片表面的損傷層。
優選的,在上述方法中,采用氫氧化鈉、雙氧水和去離子水組成的混合試劑去除所述硅片表面的損傷層。
優選的,在上述方法中,采用烘箱對所述硅片進行干燥。
優選的,在上述方法中,所述硅片為單晶硅片或多晶硅片。
從上述技術方案可以看出,本發明所提供的N型太陽能電池制作方法包括:提供一待處理的硅片;去除所述硅片表面的損傷層;對所述硅片進行表面制絨;對所述硅片進行清洗,以去除所述硅片表面殘留的金屬雜質;對干燥后的所述硅片進行硼擴散。本發明所述技術方案通過去除損傷層工序時能夠去除硅片表面的部分金屬雜質,在對所述硅片制絨之后、硼擴散之前對硅片進行清洗,采用不破壞硅片表面絨面、不影響硅片硼擴散效果且能將硅片表面金屬雜質轉化為溶于水的化合物的試劑對硅片進行清洗,去除硅片表面殘留的金屬雜質。而硅片表面的金屬雜質在硼擴散時,在高溫條件下會向硅片內部擴散,形成載流子復合中心,降低硅片內部少子的壽命,進而降低N型太陽能電池的光電轉換效率。而本發明技術方案能夠有效降低硅片表面金屬雜質,進而提高了N型太陽能電池的光電轉換效率。
附圖說明
為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為現有技術中常見的一種N型太陽能電池制作方法的流程示意圖;
圖2為本發明實施例提供的一種N型太陽能電池制作方法的流程示意圖。
具體實施方式
正如背景技術所述,現有的N型太陽能電池其光電轉換效率較低,發明人研究發現,現有的N型太陽能電池的制作方法不能有效去除硅片表面的金屬雜質,所述金屬雜質在進行硼擴散時,在高溫的擴散爐中會向硅片內部擴散,在硅片內部形成載流子復合中心,降低了硅片內部少子的壽命,進而降低了N型太陽能電池的光電轉換效率。
參考圖1,圖1為現有技術中常見的一種N型太陽能電池制作方法的流程示意圖,包括:
步驟S11:提供一待處理硅片。
步驟S11:去除所述硅片表面的損傷層。
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