[發(fā)明專(zhuān)利]槽式太陽(yáng)能集熱管用減反射膜

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210219513.2
• 申請(qǐng)日: 2012-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102723371A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葛波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州嘉言能源設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/0216
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/0216
• 代理公司: 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 傅靖

1.一種槽式太陽(yáng)能集熱管用減反射膜，其特征在于所述的減反射膜為SiN_1-X，其中X=0.02-0.10。

2.權(quán)利要求1所述的減反射膜，其特征在于所述減反射薄膜的厚度為100-200?nm。

3.權(quán)利要求1所述的減反射膜，其特征在于所述透明薄膜采用磁控濺射方法制備，所述磁控濺射方法包括以下步驟：利用純硅片作為靶材，利用磁控濺射方法制備薄膜材料：以硅片或石英為襯底，通入純度為99.99％的N₂，襯底溫度為300-500℃，工作氣壓為1～10?Pa，之后在還原氣氛下于400-500℃退火處理20-60?min。