[發(fā)明專利]沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210214960.9
• 申請(qǐng)日: 2012-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN102719806A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李占斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455;C23C16/52;C23C16/34;H01L21/318
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種沉積裝置，包括氣體反應(yīng)腔和尾氣排出管，所述尾氣排出管與所述氣體反應(yīng)腔連接，其特征在于，還包括：排堵進(jìn)氣管，所述排堵進(jìn)氣管位于所述尾氣排出管的側(cè)壁，且與所述尾氣排出管貫通。

2.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述排堵進(jìn)氣管靠近所述尾氣排出管與氣體反應(yīng)腔連接端。

3.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述排堵進(jìn)氣管與所述尾氣排出管一體成型。

4.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述排堵進(jìn)氣管與所述尾氣排出管的側(cè)壁的連接方式為套接或焊接或螺紋連接。

5.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，還包括：氣體流量監(jiān)測(cè)器或氣體流量監(jiān)控器，所述氣體流量監(jiān)測(cè)器或氣體流量監(jiān)控器的一端與所述排堵進(jìn)氣管的開口連接。

6.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，還包括：氣體流量監(jiān)測(cè)器或氣體流量監(jiān)控器，所述氣體流量監(jiān)測(cè)器或氣體流量監(jiān)控器的一端與尾氣排出管連接，另一端與排堵進(jìn)氣管連接。

7.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，還包括：開關(guān)部件，所述開關(guān)部件的一端與尾氣排出管連接，另一端與排堵進(jìn)氣管連接。

8.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，還包括：開關(guān)部件，所述開關(guān)部件的一端與排堵進(jìn)氣管的開口連接。

9.如權(quán)利要求7或8所述的沉積裝置，其特征在于，所述開關(guān)部件為閥門或插塞。

10.如權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，還包括：第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管，所述第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管分別與所述氣體反應(yīng)腔貫通連接。