[發(fā)明專利]晶化裝置、晶化方法、有機(jī)發(fā)光顯示裝置及制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210210709.5
• 申請(qǐng)日: 2012-06-20
• 公開（公告）號(hào): CN103094081B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金成虎;金度嶺;申旼澈;崔珉煥;許宗茂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/268
• 分類號(hào): H01L21/268;H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11204
• 代理人: 余朦,姚志遠(yuǎn)

1.用于對(duì)形成在襯底上的半導(dǎo)體層進(jìn)行晶化的晶化裝置，包括：

激光發(fā)生器，生成激光束；以及

臺(tái)，所述襯底安裝在所述臺(tái)上，

其中，所述半導(dǎo)體層被分成多個(gè)晶化區(qū)域和多個(gè)非晶化區(qū)域，所述激光束多次照射在所述晶化區(qū)域上，以使所述晶化區(qū)域晶化，其中，所述激光束多次照射在相同晶化區(qū)域的不同位置上。

2.如權(quán)利要求1所述的晶化裝置，其中所述晶化區(qū)域和所述非晶化區(qū)域被重復(fù)地劃分。

3.如權(quán)利要求1所述的晶化裝置，其中，所述激光束是具有主軸和輔軸的線光束。

4.如權(quán)利要求3所述的晶化裝置，其中，當(dāng)所述激光束在輔軸方向上移動(dòng)時(shí)，所述激光束順序地照射在所述晶化區(qū)域上。

5.如權(quán)利要求3所述的晶化裝置，其中，所述晶化區(qū)域并排設(shè)置，所述激光發(fā)生器適于將第一激光束順序地照射到所述晶化區(qū)域上，然后將第二激光束順序地照射到所述晶化區(qū)域上。

6.如權(quán)利要求5所述的晶化裝置，其中，與將被照射到所述晶化區(qū)域上的所述第一激光束相比，所述第二激光束在所述第一激光束的主軸方向上移動(dòng)的更多。

7.如權(quán)利要求1所述的晶化裝置，其中，由所述激光發(fā)生器生成的所述激光束是脈沖激光。

8.用于對(duì)形成在襯底上的半導(dǎo)體層進(jìn)行晶化的晶化裝置，包括：

激光發(fā)生器，生成激光束；以及

臺(tái)，所述襯底安裝在所述臺(tái)上，

其中，所述半導(dǎo)體層被分成多個(gè)晶化區(qū)域和多個(gè)非晶化區(qū)域，所述激光束多次照射在所述晶化區(qū)域上，以使所述晶化區(qū)域晶化，其中，多次照射在相同晶化區(qū)域上的激光束具有不同的輪廓。

9.如權(quán)利要求8所述的晶化裝置，其中，所述晶化區(qū)域并排設(shè)置，所述激光發(fā)生器適于將第一激光束順序地照射到所述晶化區(qū)域上，然后將第二激光束順序地照射到所述晶化區(qū)域上。

10.如權(quán)利要求9所述的晶化裝置，其中，所述第一激光束和所述第二激光束具有不同的輪廓。

11.晶化方法，包括：

將襯底安裝在臺(tái)上，其中分為多個(gè)晶化區(qū)域和多個(gè)非晶化區(qū)域的半導(dǎo)體層形成在所述襯底的表面上；以及

將激光束多次照射到所述晶化區(qū)域上；

其中，照射所述激光束的步驟包括：順序地將所述激光束照射到所述晶化區(qū)域上，然后通過改變所述激光束的位置，順序地將所述激光束照射到所述晶化區(qū)域上。

12.如權(quán)利要求11所述的晶化方法，其中，所述晶化區(qū)域和所述非晶化區(qū)域被重復(fù)地劃分。

13.如權(quán)利要求11所述的晶化方法，其中，所述激光束是具有主軸和輔軸的線光束。

14.如權(quán)利要求13所述的晶化方法，其中，當(dāng)所述激光束在所述輔軸方向上移動(dòng)時(shí)，所述激光束順序地照射在所述晶化區(qū)域上。

15.如權(quán)利要求13所述的晶化方法，其中，所述晶化區(qū)域并排設(shè)置，照射所述激光束的步驟包括：順序地將第一激光束照射到所述晶化區(qū)域上，然后順序地將第二激光束照射到所述晶化區(qū)域上。

16.如權(quán)利要求15所述的晶化方法，其中，與將被照射到所述晶化區(qū)域的所述第一激光束相比，所述第二激光束在所述第一激光束的主軸方向上移動(dòng)的更多。

17.如權(quán)利要求11所述的晶化方法，其中，所述激光束是脈沖激光。

18.晶化方法，包括：

將襯底安裝在臺(tái)上，其中半導(dǎo)體層被分成多個(gè)晶化區(qū)域和多個(gè)非晶化區(qū)域；以及

將激光束多次照射到所述晶化區(qū)域上；

其中，照射所述激光束的步驟包括：順序地將所述激光束照射到所述晶化區(qū)域上，然后通過改變所述激光束的輪廓，順序地將所述激光束照射到所述晶化區(qū)域上。

19.如權(quán)利要求18所述的晶化方法，其中，所述晶化區(qū)域并排設(shè)置，照射所述激光束的步驟包括：將第一激光束順序地照射到所述晶化區(qū)域上，然后將第二激光束順序地照射到所述晶化區(qū)域上。

20.如權(quán)利要求19所述的晶化方法，其中，所述第一激光束和所述第二激光束具有不同的輪廓。