[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)薄片盤狀物夾持裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210208778.2
• 申請(qǐng)日: 2012-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN102709224A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種旋轉(zhuǎn)薄片盤狀物夾持裝置，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)絲杠（2）、豎直升降塊（3）、水平移動(dòng)塊（4）、頂部固定塊（6）、卡爪（7）和水平滑動(dòng)軌道（11），其中，所述卡爪（7）安裝在所述水平移動(dòng)塊（4）上，所述水平移動(dòng)塊（4）安裝在所述水平滑動(dòng)軌道（11）上，所述豎直升降塊（3）和頂部固定塊（6）安裝在旋轉(zhuǎn)絲杠（2）上，所述水平滑動(dòng)軌道（11）安裝在所述頂部固定塊（6）上。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括安裝于所述旋轉(zhuǎn)絲杠（2）一端的驅(qū)動(dòng)電機(jī)（1）。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述水平移動(dòng)塊（4）有四塊，所述水平滑動(dòng)軌道（11）有兩個(gè)，每個(gè)所述水平滑動(dòng)軌道（11）上安裝有兩塊所述水平移動(dòng)塊（4）。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括鉸鏈連接桿（5），所述水平移動(dòng)塊（4）的下端安裝有第一鉸鏈連接結(jié)（10-1），所述豎直升降塊上安裝有第二鉸鏈連接結(jié)（10-2），所述鉸鏈連接桿（5）連接于所述第一鉸鏈連接結(jié)（10-1）與第二鉸鏈連接結(jié)（10-2）之間。

5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述卡爪（7）通過限位螺桿（8）和彈簧（9）安裝在所述水平移動(dòng)塊（4）上。

6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述限位螺桿（8）穿過所述水平移動(dòng)塊（4）上的長圓孔（12）以及所述卡爪（7）上的螺紋孔螺裝在所述卡爪（7）上。

7.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（1）為帶自鎖電機(jī)。

8.如權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述薄片盤狀物為半導(dǎo)體晶片、光盤或平板顯示器。