[發明專利]刻劃裝置

有效

• 申請號: 201210206270.9
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN102887635A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 成尾徹
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

技術領域

本發明涉及刻劃裝置，特別是用于在作為工件的脆性材料基板上形成多條刻劃線的刻劃裝置。

背景技術

例如在分割玻璃基板的情況下，將刀輪等工具的刀尖壓接在玻璃基板上，使該刀尖沿著刻劃預定線移動，由此形成刻劃線。接著，沿著刻劃線向玻璃基板施加規定的力來分割玻璃基板。

在進行上面那樣的玻璃基板的分割時，使用例如專利文獻1中示出的刻劃裝置。該專利文獻1中示出的裝置是用于分割例如由2片玻璃基板貼合而得到的LCD基板的裝置，具備保持搬運單元和2個刻劃頭。為了分別刻劃基板的正面和背面，2個刻劃頭配置成上下相對。此外，保持搬運單元在2個刻劃頭之間搬運基板。

在專利文獻1中示出的裝置中，存在在上下的玻璃基板的相同位置形成刻劃線的情況和在上下的玻璃基板的不同位置形成刻劃線的情況。

當對上下的玻璃基板在相同位置形成刻劃線時，分別裝有刀輪的刻劃頭以從上下將兩玻璃基板夾入的方式進行壓碾，而形成刻劃線。

另一方面，當在上下的玻璃基板的不同位置形成刻劃線時，使裝有一方的刻劃頭的橋架（bridge）移動，使用上下的刻劃頭在基板正面和背面的不同位置形成刻劃線。

此外，在專利文獻2中，示出了以縮短加工時間為目的的基板分割方法。在此處，當從母基板切出多個單位基板時，能夠使刻劃頭在始終保持與基板接觸的狀態下移動而進行加工，以使得刀輪對基板的壓碾不會中途中斷。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：WO?02/057192A1

專利文獻2：WO?2005/113212A1

在專利文獻1和2中示出的以往的刻劃裝置中，當刻劃頭的移動方向變更時，必須使刀輪平穩地追隨變更后的移動方向。因此，安裝有刀輪的夾具相對于夾具保持部件，以能夠繞與基板正面垂直的軸自由旋轉的方式被支撐。

另一方面，特別是在通過刻劃線而分割的截面直接成為產品的截面而露出的情況下，必須避免加工的刻劃線的起伏。為了避免刻劃線的起伏，期望對裝有刀輪的夾具的旋轉進行限制。

發明內容

本發明的課題在于提供一種刻劃裝置，該刻劃裝置能夠根據刻劃線的種類使用適當的刻劃頭來形成刻劃線。

第1發明的刻劃裝置用于在作為工件的脆性材料基板上形成多條刻劃線，其具備：第1刻劃單元，其具有第1刻劃頭，在脆性材料基板上形成第1刻劃線；以及第2刻劃單元，其具有第2刻劃頭，在脆性材料基板上形成第2刻劃線。第1刻劃頭具有：第1夾具保持部件；以及第1夾具，其前端可安裝刀具，被支撐為能夠相對于第1夾具保持部件繞與工件表面垂直的軸旋轉自如。第2刻劃頭具有：第2夾具保持部件；以及第2夾具，其前端可安裝刀具，其相對于第2夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉被限制。

在此，在變更刻劃頭的移動方向而形成刻劃線的情況下，通過使用第1刻劃單元，裝有刀具的第1夾具能夠平穩地追隨第1刻劃頭的移動而形成刻劃線。此外，在形成直線的刻劃線的情況下，通過使用第2刻劃單元，能夠限制裝有刀具的第2夾具的旋轉，形成抑制了起伏的刻劃線。

第2發明的刻劃裝置是在第1發明的裝置中，在第1刻劃單元與第2刻劃單元之間還具備用于變更脆性材料基板的姿勢的姿勢變更單元。

例如，當在脆性材料基板上形成互相垂直的x方向以及y方向的刻劃線時，在使用第1刻劃單元形成了x方向的刻劃線之后，在姿勢變更單元中，將脆性材料基板在工作臺面上旋轉90度。然后，在第2刻劃單元中形成y方向的刻劃線。因此，能夠高效地進行加工。

第3發明的刻劃裝置是在第1或者第2發明的裝置中，第1刻劃單元還具有第3刻劃頭，該第3刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與第1刻劃頭相向配置。而且，第3刻劃頭具有：第3夾具保持部件；以及第3夾具，其前端可安裝刀具，其相對于第3夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉被限制，第3刻劃頭在脆性材料基板上形成第3刻劃線。

在此處，在第1刻劃單元中，能夠在基板的兩個面上形成刻劃線。此時，能夠在基板的一個面上平穩地形成變更了刻劃頭的移動方向的刻劃線，能夠在基板的另一個面上形成抑制了起伏的直線的刻劃線。

第4發明的刻劃裝置是在第1至第3發明中的任意一個裝置中，第2刻劃單元還具有第4刻劃頭，該第4刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與第2刻劃頭相向配置。而且，第4刻劃頭具有：第4夾具保持部件；第4夾具，其前端可安裝刀具，其相對于第4夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉被限制，第4刻劃頭在脆性材料基板上形成第4刻劃線。