[發明專利]刻劃裝置

有效

• 申請號: 201210206270.9
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN102887635A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 成尾徹
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種刻劃裝置，用于在作為工件的脆性材料基板上形成多條刻劃線，

所述刻劃裝置具備：

第1刻劃單元，其用于在脆性材料基板上形成第1刻劃線，且具有第1刻劃頭，該第1刻劃頭具有：第1夾具保持部件；以及第1夾具，該第1夾具的前端可安裝刀具，被支撐為能夠相對于所述第1夾具保持部件繞與工件表面垂直的軸旋轉自如；以及

第2刻劃單元，其用于在脆性材料基板上形成第2刻劃線，且具有第2刻劃頭，該第2刻劃頭具有：第2夾具保持部件；以及第2夾具，該第2夾具的前端可安裝刀具，其相對于所述第2夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉被限制。

2.根據權利要求1所述的刻劃裝置，其中，

所述刻劃裝置在所述第1刻劃單元與所述第2刻劃單元之間還具備用于變更脆性材料基板的姿勢的姿勢變更單元。

3.根據權利要求1或2所述的刻劃裝置，其中，

所述第1刻劃單元還具有第3刻劃頭，該第3刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與所述第1刻劃頭相向配置，

所述第3刻劃頭在脆性材料基板上形成第3刻劃線，其具有：第3夾具保持部件；以及第3夾具，該第3夾具的前端可安裝刀具，相對于所述第3夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉被限制。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的刻劃裝置，其中，

所述第2刻劃單元還具有第4刻劃頭，該第4刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與所述第2刻劃頭相向配置，

所述第4刻劃頭在脆性材料基板上形成第4刻劃線，其具有：第4夾具保持部件；以及第4夾具，該第4夾具的前端可安裝刀具，相對于所述第4夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉被限制。