[發明專利]一種離子注入設備排氣聯鎖延時系統及其方法

無效

• 申請號: 201210204492.7
• 申請日: 2012-06-20
• 公開（公告）號: CN102723253A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 石慶球;裴雷洪;嚴駿
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

技術領域

本發明涉及半導體集成電路的制造領域，尤其涉及一種離子注入設備排氣聯鎖延時系統及其方法。

背景技術

在相關設備正常工作時，傳統的高電流離子注入機排氣連鎖系統中的動力排氣系統若出現壓力波動時會觸發連鎖保護信號，需要在10s時間范圍內對連鎖保護信號進行復位，而由于需要人工對聯鎖保護信號進行復位操作需要一定的時間，若操作不及時，在觸發聯鎖保護信號10s之后才對聯鎖保護信號進行復位或者此時排氣系統壓力恢復到預設安全范圍之內，均會觸發設備的真空系統停止工作。

???圖1是本發明背景技術中傳統離子注入設備排氣聯鎖系統工作的流程示意圖；如圖1所示，檢查動力排氣系統的壓力波動動后，觸發聯鎖保護系統發送聯鎖信號，若在10s內聯鎖信號進行了復位操作則返回檢查動力排氣系統的壓力波動動步驟，若在10s內沒有對聯鎖信號進行了復位操作則觸發真空系統跳掉，設備停止運轉；由于對聯鎖信號進行復位操作為人工操作，而其操作的時間在10s之內，很多時候操作人員在動力排氣系統在允許時間范圍內恢復正常后是來不及進行對聯鎖信號進行復位操作的，這樣就造成設備的非正常停機，使得生產效率大大降低；而每次真空系統跳掉后需要3個小時的時間進行設備恢復，而在正常工作時3個小時內制品站點可產出約180枚制品，且每次真空系統跳掉后還會影響50多枚制品，造成不必要的報廢；即這種非正常停機會不僅造成生產效率的降低，還會使得生產廢品率的上升和產品良率的降低。

發明內容

本發明公開了一種離子注入設備排氣聯鎖延時系統，包括動力排氣系統、聯鎖保護系統和真空系統，其中，還包括：

一延時觸發裝置；

所述動力排氣系統、聯鎖保護系統、延時觸發裝置依次進行通信連接，所述真空系統通過一判斷裝置與所述延時觸發裝置進行通信連接；

其中，所述判斷裝置還與所述動力排氣系統進行通信連接。

上述的離子注入設備排氣聯鎖延時系統，其中，所述延遲觸發裝置為延時繼電器。

上述的離子注入設備排氣聯鎖延時系統，其中，所述延遲觸發裝置延時時間為10s。

還公開了一種離子注入設備排氣聯鎖延時方法，其中，包括以下步驟：

步驟S1：檢查到動力排氣系統的壓力波動，并觸發聯鎖保護系統發送觸發聯鎖信號至延時觸發裝置；

步驟S2：延時觸發裝置對觸發聯鎖信號進行延遲，判斷裝置判斷動力排氣系統的壓力在延遲的10s內是否恢復正常；

步驟S3：若動力排氣系統的壓力恢復正常則進行下一次動力排氣系統的壓力波動檢測，若動力排氣系統的壓力沒有恢復正常，則觸發真空系統跳掉。

上述的離子注入設備排氣聯鎖延時方法，其中，所述延遲觸發裝置為延時繼電器。

上述的離子注入設備排氣聯鎖延時方法，其中，所述延遲觸發裝置延時時間為10s。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本發明提出一種離子注入設備排氣聯鎖延時系統及其方法，通過設置延時裝置能夠自動的在設備在可承受的排氣系統壓力范圍內，有效的減少由于排氣壓力波動而引起設備真空系統非正常的停止工作，進而保證機臺的連續正常工作，為當前機臺內產品的運行提供良好的工藝環境，不僅提高設備的正常利用率，還可顯著減少由于排氣壓力波動而停機所造成的對生產產品的質量影響，從而有效防止產品報廢，提高產品的良率。

附圖說明

圖1是本發明背景技術中傳統工藝沉積小線寬處氮化硅薄膜的結構示意圖；

圖2是本發明離子注入設備排氣聯鎖延時系統的結構示意圖；

圖3是本發明離子注入設備排氣聯鎖延時系統的電路結構示意圖；

圖4是本發明離子注入設備排氣聯鎖延時方法的流程示意圖。

具體實施方式??

下面結合附圖對本發明的具體實施方式作進一步的說明：

圖2是本發明離子注入設備排氣聯鎖延時系統的結構示意圖；

圖3是本發明離子注入設備排氣聯鎖延時系統的電路結構示意圖；

圖4是本發明離子注入設備排氣聯鎖延時方法的流程示意圖。

如圖2-3所示，一種離子注入設備排氣聯鎖延時系統（exhaust?interlock?sensor?delay?system），包括依次通信連接的動力排氣系統11、聯鎖保護系統12、延時觸發裝置13、判斷裝置14和真空系統15，其中，判斷裝置14還與動力排氣系統通信連接，延遲觸發裝置13為延時繼電器。