[發(fā)明專利]一種離子注入設(shè)備排氣聯(lián)鎖延時系統(tǒng)及其方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210204492.7
• 申請日: 2012-06-20
• 公開（公告）號: CN102723253A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石慶球;裴雷洪;嚴(yán)駿
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種離子注入設(shè)備排氣聯(lián)鎖延時系統(tǒng)，包括動力排氣系統(tǒng)、聯(lián)鎖保護(hù)系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

一延時觸發(fā)裝置；

所述動力排氣系統(tǒng)、聯(lián)鎖保護(hù)系統(tǒng)、延時觸發(fā)裝置依次進(jìn)行通信連接，所述真空系統(tǒng)通過一判斷裝置與所述延時觸發(fā)裝置進(jìn)行通信連接；

其中，所述判斷裝置還與所述動力排氣系統(tǒng)進(jìn)行通信連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入設(shè)備排氣聯(lián)鎖延時系統(tǒng)，其特征在于，所述延遲觸發(fā)裝置為延時繼電器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的離子注入設(shè)備排氣聯(lián)鎖延時系統(tǒng)，其特征在于，所述延遲觸發(fā)裝置延時時間為10s。

4.一種離子注入設(shè)備排氣聯(lián)鎖延時方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟S1：檢查到動力排氣系統(tǒng)的壓力波動，并觸發(fā)聯(lián)鎖保護(hù)系統(tǒng)發(fā)送觸發(fā)聯(lián)鎖信號至延時觸發(fā)裝置；

步驟S2：延時觸發(fā)裝置對觸發(fā)聯(lián)鎖信號進(jìn)行延遲，判斷裝置判斷動力排氣系統(tǒng)的壓力在延遲的10s內(nèi)是否恢復(fù)正常；

步驟S3：若動力排氣系統(tǒng)的壓力恢復(fù)正常則進(jìn)行下一次動力排氣系統(tǒng)的壓力波動檢測，若動力排氣系統(tǒng)的壓力沒有恢復(fù)正常，則觸發(fā)真空系統(tǒng)跳掉。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的離子注入設(shè)備排氣聯(lián)鎖延時方法，其特征在于，所述延遲觸發(fā)裝置為延時繼電器。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的離子注入設(shè)備排氣聯(lián)鎖延時方法，其特征在于，所述延遲觸發(fā)裝置延時時間為10s。