[發明專利]遮罩條有效
| 申請號: | 201210204475.3 | 申請日: | 2012-06-20 |
| 公開(公告)號: | CN102703857A | 公開(公告)日: | 2012-10-03 |
| 發明(設計)人: | 黃俊杰;王偉立;陳志彥;黃世雄 | 申請(專利權)人: | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/04 | 分類號: | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 郭蔚 |
| 地址: | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 遮罩條 | ||
1.一種遮罩條,用以被固定于一框架上而構成一遮罩,具有兩個拉伸區與一圖案區,其中該遮罩條被固定于該框架后,該圖案區位于該框架內,所述拉伸區位于該框架外,各該拉伸區遠離該圖案區的一側具有一V型切口。
2.根據權利要求1所述的遮罩條,其特征在于,各該拉伸區在該V型切口的端點與該圖案區之間具有多個挖空區。
3.根據權利要求2所述的遮罩條,其特征在于,各該挖空區呈長條狀,且所述挖空區彼此平行排列。
4.根據權利要求2所述的遮罩條,其特征在于,各該挖空區呈三角形。
5.根據權利要求4所述的遮罩條,其特征在于,所述挖空區沿著平行于該圖案區與所述拉伸區的邊界的方向排成多列。
6.根據權利要求5所述的遮罩條,其特征在于,所述挖空區中位于同一列者的大小相同。
7.根據權利要求6所述的遮罩條,其特征在于,所述挖空區的大小隨著與該圖案區的距離縮短而遞減。
8.根據權利要求4所述的遮罩條,其特征在于,各該挖空區的一角指向該圖案區。
9.一種遮罩條,用以被固定于一框架上而構成一遮罩,具有兩個拉伸區與一圖案區,其中該遮罩條被固定于該框架后,該圖案區位于該框架內,所述拉伸區位于該框架外,各該拉伸區具有多個挖空區。
10.根據權利要求9所述的遮罩條,其特征在于,各該拉伸區遠離該圖案區的一側具有一切口。
11.根據權利要求9所述的遮罩條,其特征在于,各該挖空區呈長條狀,且所述挖空區彼此平行排列。
12.根據權利要求9所述的遮罩條,其特征在于,各該挖空區呈三角形。
13.根據權利要求12所述的遮罩條,其特征在于,所述挖空區沿著平行于該圖案區與所述拉伸區的邊界的方向排成多列。
14.根據權利要求13所述的遮罩條,其特征在于,所述挖空區中位于同一列者的大小相同。
15.根據權利要求14所述的遮罩條,其特征在于,所述挖空區的大小隨著與該圖案區的距離縮短而遞減。
16.根據權利要求12所述的遮罩條,其特征在于,各該挖空區的一角指向該圖案區。
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