[發(fā)明專利]多焦距光學對準裝置及多片堆疊的襯底的對準方法

無效

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• 申請日: 2012-06-19
• 公開（公告）號: CN103515275A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 方崇仰;葉家宏
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞萬士達液晶顯示器有限公司;勝華科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;G02B27/10
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一種多焦距光學對準裝置，用以對多片堆疊的襯底進行對準，各該襯底分別具有一對準記號，所述多焦距光學對準裝置之特征在于，包括：

多個影像感測單元，分別用以接收各該襯底上的所述對準記號的一對準影像，其中各該影像感測單元具有不同的焦距；以及

一分光器，用以將各該對準記號的所述對準影像分別傳送到各該影像感測單元，其中所述分光器具有一入光面以及多個出光面，所述襯底面對所述分光器的所述入光面，各該影像感測單元分別面對所述分光器的所述出光面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多焦距光學對準裝置，其特征在于，各該影像感測單元包括一影像感測組件用以接收對應的所述襯底的所述對準記號的所述對準影像，以及一焦距調(diào)整組件用以提供所述焦距而使對應的所述對準影像成像于所述影像感測組件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多焦距光學對準裝置，其特征在于，各該焦距調(diào)整組件包括一光學定焦透鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多焦距光學對準裝置，其特征在于，各該焦距調(diào)整組件包括一變焦透鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多焦距光學對準裝置，其特征在于，各該焦距調(diào)整組件包括一光學變焦透鏡或一液晶透鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多焦距光學對準裝置，其特征在于，所述分光器包括一偏振光分光器或一分光棱鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多焦距光學對準裝置，其特征在于，各該影像感測組件包括一互補式金屬氧化物半導體感測組件或一電荷耦合感測組件。

8.一種多片堆疊的襯底的對準方法，包括：

提供權(quán)利要求1所述的所述多焦距光學對準裝置；

將所述襯底置放于所述分光器的所述入光面前；

使各該襯底的所述對準記號分別位于對應的所述影像感測單元的一焦點上；以及

依據(jù)所述影像感測單元接收到的所述對準影像調(diào)整所述襯底的相對位置以進行對準。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多片堆疊的襯底的對準方法，其特征在于，使各該襯底的所述對準記號分別位于對應的所述影像感測單元的所述焦點上的步驟包括調(diào)整所述襯底的位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多片堆疊的襯底的對準方法，其特征在于，使各該襯底的所述對準記號分別位于對應的所述影像感測單元的所述焦點上的步驟包括調(diào)整所述影像感測單元的所述焦距。