[發(fā)明專利]一種激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210200716.7
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN102730400A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王慧勇;魏唯;武祥;王學(xué)仕;佘鵬程
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: B65G47/52
• 分類號: B65G47/52;B65G47/22;B65G15/12
• 代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113
• 代理人: 馬強

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池制造自動化設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種激光邊緣刻蝕機電池片自動傳輸與裝卸系統(tǒng)。

背景技術(shù)

晶硅太陽能電池生產(chǎn)工藝中有一道工藝是等離子刻蝕：將多片經(jīng)擴散的電池片堆疊起來形成層疊硅柱，在柱形周圍，通過電感耦合射頻放電激勵化學(xué)氣體，形成等離子活性體，對柱形表面硅材料進(jìn)行化學(xué)腐蝕，達(dá)到去邊的目的，因此等離子刻蝕又叫等離子刻蝕去邊。但等離子刻蝕通常會出現(xiàn)以下問題：

1、在側(cè)邊被刻蝕的同時，臨近邊緣的正反面也會發(fā)生部分侵蝕，減少了電池感光面積；2、刻蝕前人工堆疊電池片，易產(chǎn)生崩邊裂紋，降低了生產(chǎn)效率。

近幾年隨著生產(chǎn)線每瓦成本的不斷降低，自動化的需求越來越迫切，非接觸加工的激光邊緣刻蝕機，因良品率高、易于實現(xiàn)自動化、適用生產(chǎn)線的大批量生產(chǎn)，已開始逐步取代等離子刻蝕，在國外太陽能電池生產(chǎn)線上也已廣泛應(yīng)用。?

在生產(chǎn)線上如果用激光邊緣刻蝕機替代等離子刻蝕，其上下游設(shè)備則分別是燒結(jié)爐與測試分選儀，兩設(shè)備的硅片傳送方式分別是網(wǎng)帶、皮帶傳送，工藝動作基本一樣，兩設(shè)備的硅片中轉(zhuǎn)以往一般采用疊片片盒，因此激光邊緣刻蝕機既要考慮與上下游設(shè)備燒結(jié)爐、測試分選儀的自動銜接，又要兼顧能將疊片片盒中的堆疊硅片以單片方式傳送，適應(yīng)國內(nèi)現(xiàn)有生產(chǎn)線的各種自動化需求，方便激光刻蝕機的推廣應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，同時針對燒結(jié)爐與測試分選儀兩者工藝動作的相似性，本發(fā)明旨在提供一種激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統(tǒng)，該系統(tǒng)可實現(xiàn)激光邊緣刻蝕機與上下游設(shè)備的自動銜接，方便設(shè)備推廣應(yīng)用。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)特點是，包括框架，裝在框架底板上的疊片片盒移動及升降部件和傳送平臺部件，裝在框架上部的硅片吸盤機械手；位于傳送平臺部件一側(cè)的所述疊片片盒移動及升降部件上裝有內(nèi)置硅片的疊片片盒，所述硅片吸盤機械手位于傳送平臺部件的正上方；所述硅片吸盤機械手上具有硅片吸盤。

所述硅片吸盤機械手上裝有可以水平移動硅片吸盤的平移線性滑臺，裝在平移線性滑臺上的升降氣缸；所述硅片吸盤裝在升降氣缸的一端。所述硅片吸盤機械手由線性電動滑臺、可上下伸縮的汽缸（電機）及硅片吸盤等組成，可完成抓取硅片、硅片平移、放置硅片整套工藝動作。

所述框架的底板裝有緩存片盒移動部件，位于傳送平臺部件的一側(cè)的該緩存片盒移動部件上裝有緩存片盒，該緩存片盒用于接收工藝過程暫時來不及處理的硅片。所述硅片吸盤機械手、疊片片盒移動及升降部件、緩存片盒移動部件三者的硅片中心位一致，疊片片盒、緩存片盒分別位于皮帶傳送平臺兩側(cè)。

所述疊片片盒移動及升降部件包括用于垂直升降疊片片盒的升降線性滑臺和用于水平移動疊片片盒的導(dǎo)軌，由此，吸盤機械手抓取、放置硅片時線性滑臺相應(yīng)逐步升降片盒底板。

所述傳送平臺部件為多段皮帶傳送平臺部件。進(jìn)一步地，所述多段皮帶傳送平臺部件中的每一段包括由電機驅(qū)動的帶輪和裝在帶輪上的皮帶，實現(xiàn)了上下游設(shè)備的自動銜接及設(shè)備內(nèi)硅片的自動傳送.

所述傳送平臺部件上具有定位硅片的夾緊裝置，通過夾緊裝置實現(xiàn)硅片粗定位。

所述多段皮帶傳送平臺、疊片片盒移動及升降部件與緩存片盒移動部件安裝固定于框架底板上，硅片吸盤機械手垂直安裝于皮帶傳送平臺上方。

藉由上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明所述激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統(tǒng)由框架、多段皮帶傳送平臺、硅片吸盤機械手、疊片片盒移動及升降部件、緩存片盒移動部件等組成。框架底板安裝固定多段皮帶傳送平臺、疊片片盒移動及升降部件與緩存片盒移動部件，硅片吸盤機械手垂直安裝于皮帶傳送平臺上方。激光邊緣刻蝕機需要與上下游設(shè)備分別相連，因此自動傳輸與裝卸片系統(tǒng)分為上料機與下料機兩部分，兩者結(jié)構(gòu)一樣，只是工藝流程相反，位于激光邊緣刻蝕機兩側(cè)。

多段皮帶傳送平臺能夠?qū)崿F(xiàn)激光邊緣刻蝕機與上下游設(shè)備的自動銜接，無需人工介入；當(dāng)燒結(jié)爐與測試分選儀用疊片片盒中轉(zhuǎn)硅片時，硅片吸盤機械手與疊片片盒移動及升降部件能將堆疊硅片以單片方式傳送，方便硅片自動單片傳送；緩存片盒移動部件的設(shè)計則是用于接收工藝過程暫時來不及處理的硅片。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明既能滿足上下游設(shè)備自動銜接的要求，又能適應(yīng)現(xiàn)有生產(chǎn)線用疊片片盒中轉(zhuǎn)硅片的工藝方式，因此方便激光邊緣刻蝕機的推廣應(yīng)用，即時提高太陽能電池生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率與電池片轉(zhuǎn)換效率，降低人工成本與碎片風(fēng)險。

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附圖說明

圖1為激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統(tǒng)裝配主視圖；