[發明專利]一種激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統

有效

• 申請號: 201210200716.7
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN102730400A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 王慧勇;魏唯;武祥;王學仕;佘鵬程
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: B65G47/52
• 分類號: B65G47/52;B65G47/22;B65G15/12
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統，其特征是，包括框架(1)，裝在框架(1)底板上的疊片片盒移動及升降部件（8）和傳送平臺部件（10），裝在框架(1)上部的硅片吸盤機械手(3)；位于傳送平臺部件（10）一側的所述疊片片盒移動及升降部件（8）上裝有內置硅片的疊片片盒（7），所述硅片吸盤機械手(3)位于傳送平臺部件（10）的正上方；所述硅片吸盤機械手(3)上具有硅片吸盤（6）。

2.根據權利要求1所述的激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統，其特征是，所述硅片吸盤機械手(3)?上裝有可以水平移動硅片吸盤（6）的平移線性滑臺（4），裝在平移線性滑臺（4）上的升降氣缸（5）；所述硅片吸盤（6）裝在升降氣缸（5）的一端。

3.根據權利要求1所述的激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統，其特征是，所述框架（1）的底板裝有緩存片盒移動部件（2），位于傳送平臺部件（10）的一側的該緩存片盒移動部件（2）上裝有緩存片盒。

4.根據權利要求1所述的激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統，其特征是，所述疊片片盒移動及升降部件（8）包括用于垂直升降疊片片盒（7）的升降線性滑臺（9）和用于水平移動疊片片盒（7）的導軌。

5.根據權利要求1~4之一所述的激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統，其特征是，所述傳送平臺部件（10）為多段皮帶傳送平臺部件。

6.根據權利要求5所述的激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統，其特征是，所述多段皮帶傳送平臺部件中的每一段包括由電機驅動的帶輪和裝在帶輪上的皮帶。

7.根據權利要求1所述的激光邊緣刻蝕機傳輸與裝卸片系統，其特征是，所述傳送平臺部件（10）上具有定位硅片的夾緊裝置（11）。