[發明專利]測試設備及測試方法

無效

• 申請號: 201210198997.7
• 申請日: 2012-06-15
• 公開（公告）號: CN103515263A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 林招慶;曹正中;蔡永昌;廖立涵
• 申請（專利權）人: 禾威科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 馮志云;呂俊清

技術領域

本發明涉及一種測試設備，尤其是關于一種三維動態的測試設備及測試方法。

背景技術

目前半導體封裝件的種類繁多，如：光電裝置(opto?electronic?devices)或微機電系統(Micro?Electro?Mechanical?Systems,MEMS)等，而該微機電系統的種類繁多，如影像傳感組件、射頻組件(RF?circuits)、加速計(accelerators)、陀螺儀(gyroscopes)、微制動器(micro?actuators)或壓力傳感器(process?sensors)等。

隨著半導體封裝件的電性功能增加，半導體封裝件的檢測方式也越重要，以確保產品的良率。對于陀螺儀而言，除了一般線路測試的外，通常還會測試運動狀態（如傾斜角度）的可靠度。一般用于測試陀螺儀的設備包含三維翻轉裝置，以提供各種方向運動狀態的測試。然而，該三維翻轉裝置的作動空間很大，因而會有纏繞外圍電線的問題，所以必須限制該三維翻轉裝置的作動路徑以避開外圍電線，致使某些方位角度無法測量。

因此，業界遂發展出一種避免纏繞外圍電線的測試設備，可參考中國臺灣專利第201128194號或如圖1所示，現有測試設備1包括一三維翻轉裝置10、一承載臺11、一第一控制裝置12以及一第二控制裝置13。該三維翻轉裝置10具有一架體100、連結該架體100的一第一軸件101與一第二軸件102，該第一軸件101與第二軸件102相互垂直，且該第一軸件101樞接該承載臺11。該承載臺11上設有一第一無線傳輸部110與多個測試座111，且該第一無線傳輸部110電性連接該些測試座111，以發射測試信息。該第一控制裝置12可為一般筆記型計算機，其具有一第二無線傳輸部120與內存（圖略），用以接收測試信息與儲存信息，且該第一與第二無線傳輸部110、120可為一藍牙傳輸模塊、射頻傳輸模塊或其它等效的無線傳輸模塊。該第二控制裝置13設于該架體100上且具有電源模塊130，該第二控制裝置13用以控制該三維翻轉裝置10進行翻轉、該些測試座111與該第一無線傳輸部110的信息傳輸控制、測試流程控制、數據的編碼轉碼等相關檢測控制。

由上可知，現有測試設備1是通過第一與第二無線傳輸部110、120的設計而達到完全無線化，以克服纏繞外圍電線的問題，所以使該三維翻轉裝置10的旋轉不受限，以提升測試的品質。

然而，于同時使用多臺現有測試設備1時，各臺設備的第一與第二無線傳輸部110、120的信號容易互相干擾，導致該第一控制裝置12所接收的信息不正確。

此外，當該三維翻轉裝置10旋轉時，該些測試座111與該第一無線傳輸部110會進行信息傳輸，若該三維翻轉裝置10的旋轉速度過快或角度不適當，將影響信息傳輸的穩定性與正確性，所以該三維翻轉裝置10的旋轉仍需維持一定范圍的速度與角度，以致于無法進一步提高該三維翻轉裝置10的旋轉速度與角度。

又，現有測試設備1中，該第二控制裝置13設于該架體100上，所以容易遭外力碰撞而損壞。

另外，現有測試設備1中，該內存設于外部的計算機（即該第一控制裝置12）中，若該計算機遺失或感染病毒，將導致整臺測試設備1無法運作。

因此，如何克服上述現有技術中的種種問題，實已成目前亟欲解決的課題。

發明內容

為克服上述現有技術的問題，本發明的主要目的在于提供一種測試設備及測試方法，以提高該三維翻轉裝置旋轉的速度與角度。

本發明的測試設備通過將所需的電子模塊整合于一整合式測試板上，再將該整合式測試板樞接該三維翻轉裝置，該整合式測試板具有測試區、第一插拔式傳輸部、及電性連接該第一插拔式傳輸部的儲存部，并設置一具有第二插拔式傳輸部的控制裝置，以通過該第二插拔式傳輸部插接該第一插拔式傳輸部，使該控制裝置電性連接該整合式測試板。

因此，利用本發明的測試設備進行測試，可得到一種測試方法，其包括：將測試件置放于該整合式測試板的測試區上；接著，翻轉該三維翻轉裝置，且該整合式測試板量測該測試件，以儲存量測所得的信息；之后，停止翻轉該三維翻轉裝置；接著，將該控制裝置的第二插拔式傳輸部插接于該第一插拔式傳輸部上，以令該控制裝置獲得量測所得的信息。

由上可知，本發明的測試設備及測試方法，通過該第一與第二插拔式傳輸部的設計，無需使用無線通訊設備，所以可避免現有控制裝置接收不正確信息的問題。

此外，通過插拔式傳輸部的設計，使該三維翻轉裝置作動時，該第一與第二插拔式傳輸部間無任何電性連接，以提高該三維翻轉裝置的旋轉速度與角度。