[發明專利]一種金剛石自支撐膜表面平整化方法有效
| 申請號： | 201210196311.0 | 申請日： | 2012-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN102699804A | 公開（公告）日： | 2012-10-03 |
| 發明（設計）人： | 李成明;陳良賢;劉金龍;魏俊俊;黑立富;呂反修 | 申請（專利權）人： | 北京科技大學 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金剛石 支撐 表面 平整 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種金剛石自支撐膜表面平整化方法，其特征是使用耐高溫的覆蓋劑和溶劑混合，涂覆在凸凹不平的金剛石膜表面，然后物理的方法將金剛石膜表面凸出部位的覆蓋劑去除，固化后將金剛石膜放置在通入一定比例的氧氣氛熱處理爐中一定時間，暴露的金剛石膜與氧氣反應刻蝕，使得凸出的金剛石部分有效快速氧化；實施步驟如下：
1）.?用使用體積比為2:1的氫氟酸和硝酸混合溶液在加熱100℃下，對金剛石進行表面清洗，以獲得清潔表面，特別是生長大晶粒間凹下部分，以使得覆蓋劑能夠有效浸入；
2）.?將覆蓋劑涂覆于金剛石自支撐膜生長晶粒表面，覆蓋劑為市售的防滲碳劑，防滲氮劑和高溫膠，要求充分將覆蓋劑填充入大晶粒間的凹下部位；
3）.?用物理方法去除金剛石膜表面凸出部位的覆蓋劑；
4）.?顯微鏡檢查去除覆蓋劑的狀態，對金剛石膜表面凹下部位沒有覆蓋部位進行補充覆蓋劑，并進行再次去除，直至凹下部位全部覆蓋；
5）.?將凹下部位具有覆蓋劑，而凸出部位暴露的金剛石膜放置在熱處理爐中，通入氬氣升溫；
6）.?隨爐升溫至800℃時，通入氧氣和氬氣的混合氣；
7）.?保溫的溫度范圍為800-1200℃；
8）.?將熱處理爐中的金剛石膜保溫1-2小時后，緩慢冷卻到600℃以下，隨爐冷卻；
9）.?用機械拋光方法將金剛石自支撐膜拋光獲得所要求的表面粗糙度。
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