[發明專利]分割預定線檢測方法

有效

• 申請號: 201210189636.6
• 申請日: 2012-06-08
• 公開（公告）號: CN102820239A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 田中誠;佐脅悟志;吉田圭吾;山田清
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L23/544
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種分割預定線檢測方法，在被加工物中拍攝第1對準標記和第2對準標記來檢測第1分割預定線，在該被加工物中，在由多個該第1分割預定線和與該第1分割預定線交叉的多個第2分割預定線劃分而成的各區域中形成有器件，并且在該多個該第1分割預定線的第1端部具有與該第1分割預定線關聯形成的多個該第1對準標記，在該多個該第1分割預定線的該第1端部的相反側的第2端部具有與該第1分割預定線關聯形成的多個該第2對準標記，

該分割預定線檢測方法的特征在于具有以下步驟：

保持步驟，由可在X軸方向上移動的卡盤臺保持被加工物；

第1對準標記攝像步驟，將攝像單元定位到被該卡盤臺保持的被加工物，一邊使該攝像單元在與X軸方向垂直的Y軸方向上移動而一邊與該第1對準標記的間隔對應地照射該攝像單元的頻閃光來在第1方向上依次拍攝該第1對準標記，檢測該第1對準標記的坐標值并將該第1對準標記的坐標值存儲到存儲器中；

卡盤臺移動步驟，使該卡盤臺在X軸方向上移動來將該攝像單元定位到被加工物的該第2端部；

第2對準標記攝像步驟，在實施了該卡盤臺移動步驟后，一邊使該攝像單元在與該第1方向相反的第2方向上移動而一邊與該第2對準標記的間隔對應地從該攝像單元照射頻閃光來依次拍攝該第2對準標記，檢測該第2對準標記的坐標值并將該第2對準標記的坐標值存儲到存儲器中；以及

分割預定線檢測步驟，根據通過該第1對準標記攝像步驟存儲在存儲器中的該第1對準標記的坐標值和通過該第2對準標記攝像步驟存儲在存儲器中的該第2對準標記的坐標值，檢測連接對應于Y軸方向的該第1對準標記和該第2對準標記而成的直線作為第1分割預定線。