[發(fā)明專利]一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置和方法

有效

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• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號: CN102717191A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設計）人: 趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華
• 申請（專利權）人: 江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/06;B23K26/42;B23K26/14
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國安

技術領域

本發(fā)明涉及一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置和方法，屬于近場光學、電子觸控設計技術和激光微加工技術領域。

背景技術

傳統(tǒng)的觸摸屏柔性導電膜的原材為卷狀，但市場上的激光蝕刻設備需要導電膜裁切成固定尺寸方可加工，此種方式對產(chǎn)線帶來設備成本的增加和生產(chǎn)步驟的增加，且生產(chǎn)效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種適應生產(chǎn)需求、減少生產(chǎn)工序、增加生產(chǎn)效率、節(jié)約生產(chǎn)成本的脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置和方法。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述裝置包含有激光器、光閘、1/2波片、格蘭棱鏡、擴束鏡、全反鏡片、振鏡系統(tǒng)和遠心場鏡，所述激光器發(fā)出的激光依次經(jīng)光閘、1/2波片和格蘭棱鏡后射入擴束鏡對光束進行同軸擴束，經(jīng)擴束鏡擴束準直后的激光到達全反鏡片，經(jīng)全反鏡片反射后的激光射入振鏡系統(tǒng)，射出振鏡系統(tǒng)的激光經(jīng)遠心場鏡后聚焦到被吸附于真空吸附平臺上作為待加工件的柔性導電膜上；所述柔性導電膜卷繞在卷膜傳輸系統(tǒng)上，所述卷膜傳輸系統(tǒng)包含有左右對稱設置的放卷輥和收卷輥，柔性導電膜一端卷繞在放卷輥上，另一端卷繞在收卷輥上，位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜展平吸附于真空吸附平臺上，且位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜上壓置有壓緊裝置，并且柔性導電膜的上方設置有一CCD對位觀察系統(tǒng)。

本發(fā)明一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述柔性導電膜的上方兩側(cè)分別設置有集塵系統(tǒng)和吹氣系統(tǒng)。

本發(fā)明一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述激光器為高頻率短脈沖激光器。

本發(fā)明一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述激光器、振鏡系統(tǒng)和卷膜傳輸系統(tǒng)均通過通訊系統(tǒng)與工控機相連。

本發(fā)明一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的方法，該方法包含有以下步驟：

步驟一、激光器發(fā)出的激光經(jīng)1/2波片和格蘭棱鏡后，再經(jīng)擴束鏡準直擴束后，再通過振鏡系統(tǒng)和具有較小焦距的遠心場鏡聚焦，使聚焦光斑在5um～20um；?

步驟二、將柔性導電膜吸附在真空吸附平臺上；?

步驟三、進行CCD定位；利用具有CCD自動抓靶功能的CCD對位觀察系統(tǒng)進行定位；

步驟四：激光按照設計圖形進行蝕刻時，同時打開設置于作為待加工件的柔性導電膜的上方兩側(cè)的集塵系統(tǒng)和吹氣系統(tǒng)，確保蝕刻產(chǎn)生的粉塵全部吸入集塵系統(tǒng)中；

步驟五：完成步驟四后，通過同步電機驅(qū)動放卷輥和收卷輥進行旋轉(zhuǎn)，使得經(jīng)過上述步驟加工好的柔性導電膜卷繞到收卷輥上，同時，需要加工的下一段柔性導電膜移動至真空吸附平臺上，隨后進行步驟三和步驟四，直至放卷輥上卷繞的柔性導電膜卷材全部蝕刻完畢。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明通過運用高頻率的短脈沖激光器作為激光源，對不同觸摸屏產(chǎn)品中導電膜進行激光蝕刻，使有導電膜在高頻率的短脈沖固體激光器的作用下氣化而達到蝕除的目的，通過高精度CCD對位一次性完成這些導電薄膜材料的蝕刻，產(chǎn)生的粉塵在經(jīng)過特制的吹氣系統(tǒng)和大流量積塵系統(tǒng)集塵，加工出無污染、線性穩(wěn)定、功能完好的觸摸屏電子產(chǎn)品。配合著自動卷材系統(tǒng)，達到減少加工工序，快速加工的效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置的結(jié)構示意圖。

其中：

激光器1、光閘2、1/2波片3、格蘭棱鏡4、擴束鏡5、全反鏡片6、振鏡系統(tǒng)7、遠心場鏡8、CCD對位觀察系統(tǒng)9、集塵系統(tǒng)10、吹氣系統(tǒng)11、壓緊裝置12、待加工件13、工控機14、通訊系統(tǒng)15、卷膜傳輸系統(tǒng)16、真空吸附平臺17。

具體實施方式