[發明專利]一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置和方法

有效

• 申請號: 201210185862.7
• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號: CN102717191A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華
• 申請（專利權）人: 江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/06;B23K26/42;B23K26/14
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國安

1.一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，其特征在于：所述裝置包含有激光器（1）、光閘（2）、1/2波片（3）、格蘭棱鏡（4）、擴束鏡（5）、全反鏡片（6）、振鏡系統（7）和遠心場鏡（8），所述激光器（1）發出的激光依次經光閘（2）、1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后射入擴束鏡（5）對光束進行同軸擴束，經擴束鏡（5）擴束準直后的激光到達全反鏡片（6），經全反鏡片（6）反射后的激光射入振鏡系統（7），射出振鏡系統（7）的激光經遠心場鏡（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平臺（13）上作為待加工件（12）的柔性導電膜上；所述柔性導電膜卷繞在卷膜傳輸系統（16）上，所述卷膜傳輸系統（16）包含有左右對稱設置的放卷輥和收卷輥，柔性導電膜一端卷繞在放卷輥上，另一端卷繞在收卷輥上，位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜展平吸附于真空吸附平臺（17）上，且位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜上方設置有一CCD對位觀察系統（9）。

2.如權利要求1所述一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，其特征在于：所述柔性導電膜的上方兩側分別設置有集塵系統（10）和吹氣系統（11）。

3.如權利要求1所述一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，其特征在于：所述激光器（1）為高頻率短脈沖激光器。

4.如權利要求1或2或3所述一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，其特征在于：所述激光器（1）、振鏡系統（7）和卷膜傳輸系統（16）均通過通訊系統（15）與工控機（14）相連。

5.一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的方法，其特征在于：所述方法采用如權利要求2所述的一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，該方法包含有以下步驟：

步驟一、激光器（1）發出的激光經1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后，再經擴束鏡（5）準直擴束后，再通過振鏡系統（7）和具有較小焦距的遠心場鏡（8）聚焦，使聚焦光斑在5um～20um；?

步驟二、將柔性導電膜吸附在真空吸附平臺（17）上；?

步驟三、進行CCD定位；利用具有CCD自動抓靶功能的CCD對位觀察系統（9）進行定位；

步驟四：激光按照設計圖形進行蝕刻時，同時打開設置于作為待加工件（13）的柔性導電膜的上方兩側的集塵系統（10）和吹氣系統（11），確保蝕刻產生的粉塵全部吸入集塵系統（10）中；

步驟五：完成步驟四后，通過同步電機驅動放卷輥和收卷輥進行旋轉，使得經過上述步驟加工好的柔性導電膜卷繞到收卷輥上，同時，需要加工的下一段柔性導電膜移動至真空吸附平臺（17）上，隨后進行步驟三和步驟四，直至放卷輥上卷繞的柔性導電膜卷材全部蝕刻完畢。