[發明專利]工業排水的處理方法和處理裝置

有效

• 申請號: 201210183950.3
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN102815774A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 田口和之;中田榮壽
• 申請（專利權）人: 富士電機株式會社
• 主分類號: C02F1/52
• 分類號: C02F1/52;C02F1/58;C02F101/16
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及從各種生產設備排出的工業排水的處理方法和處理裝置。

背景技術

在各種工業中，從有限的水資源的節約和地球環境保全的觀點出發，正在積極地進行工業排水的回收。另外，根據生產中的產品使用了各種各樣的藥品，因此必須進行排水處理。

例如，在半導體制造工廠中，為了半導體的蝕刻處理而使用大量的氫氟酸，含有氟離子的工業排水被大量地排出。

含有氟離子的工業排水的處理，歷來進行的是以下方法，即，加入氯化鈣、氫氧化鈣、碳酸鈣、硫酸鈣等鈣鹽使排水中的氟離子不溶解，然后進行固液分離將氟從排水中除去。

由于氟離子的排出標準值為8mg/L以下，所以各制造商實施不超過該標準值那樣的排水處理。

在專利文獻1中，已公開如下含氟水的處理方法，即，在向含氟水中添加鈣鹽使氟形成氟化鈣而進行沉淀分離的方法中，特征在于，基于該含氟水中的氟離子量和與鈣產生難溶性鹽的氟離子以外的離子量，設定上述鈣鹽的添加量。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2001－212574號公報

發明內容

發明要解決的課題

如果能夠正確地把握工業排水中所含的氟離子等處理對象成分的濃度，則能夠使處理藥劑的使用量最適合化。例如，作為測定氟離子的測量儀器，有使用選擇性地透過氟離子的氟化鑭的離子電極方式的測量儀器。該測量儀器價格低、操作容易，被廣泛用于排水處理的監視，但容易受排水中的陰離子或金屬離子等共存成分的影響，很多時候實際的濃度和測量濃度產生乖離。只要是離子色譜法等精密分析，就能夠正確地測量處理對象成分的濃度，但測量需要時間和勞力，在處理對象成分的濃度發生變動的情況下，不能立即對應。因此，目前存在如下問題，即，以過剩地添加處理藥劑來滿足排水標準值的方式進行處理，處理藥劑的消耗成本和污泥處理成本增加。

因而，本發明的目的在于提供工業排水的處理方法和工業排水的處理裝置，能夠將處理藥劑的使用量控制在所需最小限，并且對處理對象成分可靠地進行處理，經濟地處理工業排水。

用于解決課題的方法

本發明提供一種工業排水的處理方法，對工業排水中所包括的處理對象成分用處理藥劑處理后進行排水，其特征在于，包括：測量上述工業排水中的上述處理對象成分的濃度的工序；取得對上述處理對象成分濃度的測量結果帶來影響的共存成分的濃度數據的工序；求得修正濃度的工序，上述修正濃度是基于上述共存成分的濃度對上述處理對象成分的測量濃度進行修正后的濃度；取得上述工業排水的流量和排水時間的數據的工序；基于上述處理對象成分的修正濃度和上述工業排水的流量及排水時間，計算出上述處理藥劑的添加量的工序；和按上述算出的添加量添加上述處理藥劑的工序。

根據本發明的工業排水的處理方法，對工業排水中的處理對象成分的測量濃度，基于對該測量結果帶來影響的共存成分的濃度進行修正，基于其修正濃度和工業排水的流量及排水時間計算處理藥劑的添加量，按算出的添加量添加處理藥劑，由此將處理藥劑的使用量控制在所需最小限，并且能夠可靠地處理處理對象成分，能夠進行經濟的排水處理。

優選本發明的工業排水的處理方法的取得上述共存成分的濃度數據的工序，是通過取得作為上述工業排水之源的水溶液的配合數據和/或上述共存成分的測量數據而完成的；取得上述工業排水的流量和排水時間的數據的工序，是通過取得產生上述工業排水的生產工序的工藝數據而完成的。根據該方式，通過取得作為工業排水之源的水溶液的配合數據和/或共存成分的測量數據，對于容易變動的成分能夠根據測量數據而求得，對于不易變動的成分能夠由配合數據求得，所以能夠簡便迅速地求得共存成分的濃度。另外，通過取得產生工業排水的生產工序的工藝數據，能夠簡便迅速地求得工業排水的流量和排水時間。

本發明的工業排水的處理方法的求得所述修正濃度的工序優選如下所述那樣完成，即，對每個共存成分預先求得修正率，對各共存成分的濃度乘以各自的修正率而計算出由該共存成分引起的誤差量，計算出由各共存成分引起的誤差量的總量，并根據該總量修正上述測量濃度。根據該方式，通過對每個共存成分預先求得修正率，能夠迅速地求得由共存成分引起的修正量。

本發明的工業排水的處理方法，優選上述處理對象成分為氟離子，上述處理藥劑為鈣鹽。