[發(fā)明專利]圓形靶材的取樣方法和檢測方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210178262.8 | 申請日： | 2012-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN103454115A | 公開（公告）日： | 2013-12-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學(xué)澤;鐘偉華 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/04 | 分類號： | G01N1/04;G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市余姚*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 圓形 取樣 方法 檢測 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及圓形靶材的取樣方法和檢測方法。
背景技術(shù)
一般制備濺射靶材的工藝是將符合濺射靶材性能的金屬經(jīng)塑性成形、粗加工和精加工等工藝，最后加工成尺寸合格的濺射靶材。在濺射靶材的制備工藝完成后，有必要對所述靶材的組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測，以確定靶材濺射的性能，這些濺射性能包括：靶材晶粒的大小，分布，均勻性，以及晶體取向的分布以及均勻性對薄膜生長的厚度均勻性，以及在靶材壽命期間對薄膜生長的影響。
對金屬靶材的組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測是從靶材上截取小的樣本，然后采用金相顯微鏡對所述樣本進(jìn)行金相觀察，主要是觀察樣本的組織結(jié)構(gòu)，如晶粒的大小、形狀和取向等是否符合客戶的要求。
一般，對一個靶材來說，截取一個樣本并對其進(jìn)行金相觀察，就可以獲得靶材的組織結(jié)構(gòu)信息。然而，對于圓形靶材而言，由于各工藝步驟對靶材各個位置的處理有可能會有些許差異，而導(dǎo)致靶材的不同位置組織結(jié)構(gòu)可能會不同。此外，靶材在使用過程中，各部分的利用情況并不相同，因此，在圓形靶材上只截取一個樣本進(jìn)行檢測顯然是不足以反映整個靶材的組織結(jié)構(gòu)信息的。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供一種圓形靶材的取樣方法和檢測方法，以實現(xiàn)對圓形靶材組織結(jié)構(gòu)的檢測。
為解決上述問題，本發(fā)明提供一種圓形靶材的取樣方法，包括：提供圓形靶材；在所述靶材的徑向按靶材中心區(qū)域、靶材邊緣區(qū)域、靶材中心區(qū)域與靶材邊緣區(qū)域之間的中間區(qū)域取樣，在所述靶材的厚度方向分層取樣；其中，所述中間區(qū)域為所述圓形靶材消耗最快的區(qū)域。
可選地，圓形靶材消耗最快的區(qū)域為所述圓形靶材報廢時靶材厚度消耗厚度大于原厚度一半的區(qū)域。
可選地，所述靶材中間區(qū)域為環(huán)形，所述環(huán)形的內(nèi)徑與所述圓形靶材的半徑比值大于20%，所述環(huán)形的外徑與所述圓形靶材的半徑比值小于55%。
可選地，所述靶材的半徑為140毫米-145毫米，所述中間區(qū)域取樣的范圍為：距離靶材中心的50毫米-70毫米，所述邊緣區(qū)域取樣的范圍為：距離靶材中心的110毫米-130毫米。
可選地，所述靶材的半徑為160毫米-175毫米，所述中間區(qū)域取樣的范圍為：距離靶材中心的60毫米-80毫米，所述邊緣區(qū)域取樣的范圍為：距離靶材中心的140毫米-160毫米。
可選地，所述靶材的半徑為220毫米-225毫米，所述中間區(qū)域取樣的范圍為：距離靶材中心的80毫米-100毫米，所述邊緣區(qū)域取樣的范圍為：距離靶材中心的180毫米-200毫米。
可選地，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上中下三層取樣。
可選地，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材中心區(qū)域、靶材邊緣區(qū)域、靶材中間區(qū)域的厚度方向分上中下三層取樣。
可選地，在所述靶材的徑向按靶材中心區(qū)域、靶材邊緣區(qū)域、靶材中間區(qū)域取樣包括沿所述靶材直徑取10毫米-15毫米寬的長條。
此外，本發(fā)明還提供了一種圓形靶材的檢測方法，包括：提供圓形靶材；在所述靶材的徑向按靶材中心區(qū)域、靶材邊緣區(qū)域、靶材中心區(qū)域與靶材邊緣區(qū)域之間的中間區(qū)域取樣，在所述靶材的厚度方向分層取樣；其中，所述中間區(qū)域為所述圓形靶材消耗最快的區(qū)域；對各樣本進(jìn)行金相觀察。
可選地，所述圓形靶材消耗最快的區(qū)域為所述圓形靶材報廢時靶材厚度消耗厚度大于原厚度一半的區(qū)域。
可選地，所述靶材中間區(qū)域為環(huán)形，所述環(huán)形的內(nèi)徑與所述圓形靶材的半徑比值大于20%，所述環(huán)形的外徑與所述圓形靶材的半徑比值小于55%。
可選地，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上中下三層取樣。
可選地，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材中心區(qū)域、靶材邊緣區(qū)域、靶材中間區(qū)域的厚度方向分上中下三層取樣。
可選地，在所述靶材的徑向按靶材中心區(qū)域、靶材邊緣區(qū)域、靶材中間區(qū)域取樣包括沿所述靶材直徑取10毫米-15毫米寬的長條。
可選地，所述對各樣本進(jìn)行金相觀察包括：對所述樣本進(jìn)行研磨、拋光和化學(xué)腐蝕處理；用金相顯微鏡觀察所述處理后的樣本的組織結(jié)構(gòu)。
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