[發明專利]圓形靶材的取樣方法和檢測方法

無效

• 申請號: 201210178262.8
• 申請日: 2012-05-29
• 公開（公告）號: CN103454115A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;鐘偉華
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: G01N1/04
• 分類號: G01N1/04;G01N21/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種圓形靶材的取樣方法，其特征在于，包括：

提供圓形靶材；

在所述靶材的徑向按靶材中心區域、靶材邊緣區域、靶材中心區域與靶材邊緣區域之間的中間區域取樣，在所述靶材的厚度方向分層取樣；其中，所述中間區域為所述圓形靶材消耗最快的區域。

2.根據權利要求1所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，所述圓形靶材消耗最快的區域為所述圓形靶材報廢時靶材厚度消耗厚度大于原厚度一半的區域。

3.根據權利要求1所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，靶材中間區域為環形，所述環形的內徑與所述圓形靶材的半徑比值大于20%，所述環形的外徑與所述圓形靶材的半徑比值小于55%。

4.根據權利要求3所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，所述靶材的半徑為140毫米-145毫米，所述中間區域取樣的范圍為：距離靶材中心的50毫米-70毫米，所述邊緣區域取樣的范圍為：距離靶材中心的110毫米-130毫米。

5.根據權利要求3所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，所述靶材的半徑為160毫米-175毫米，所述中間區域取樣的范圍為：距離靶材中心的60毫米-80毫米，所述邊緣區域取樣的范圍為：距離靶材中心的140毫米-160毫米。

6.根據權利要求3所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，所述靶材的半徑為220毫米-225毫米，所述中間區域取樣的范圍為：距離靶材中心的80毫米-100毫米，所述邊緣區域取樣的范圍為：距離靶材中心的180毫米-200毫米。

7.根據權利要求1所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上中下三層取樣。

8.根據權利要求1所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材中心區域、靶材邊緣區域、靶材中間區域的厚度方向分上中下三層取樣。

9.根據權利要求1所述的圓形靶材的取樣方法，其特征在于，在所述靶材的徑向按靶材中心區域、靶材邊緣區域、靶材中間區域取樣包括沿所述靶材直徑取10毫米-15毫米寬的長條。

10.一種圓形靶材的檢測方法，其特征在于，包括：

提供圓形靶材；

在所述靶材的徑向按靶材中心區域、靶材邊緣區域、靶材中心區域與靶材邊緣區域之間的中間區域取樣，在所述靶材的厚度方向分層取樣；其中，所述中間區域為所述圓形靶材消耗最快的區域；

對各樣本進行金相觀察。

11.根據權利要求10所述的圓形靶材的檢測方法，其特征在于，所述圓形靶材消耗最快的區域為所述圓形靶材報廢時靶材厚度消耗厚度大于原厚度一半的區域。

12.根據權利要求10所述的圓形靶材的檢測方法，其特征在于，所述靶材中間區域為環形，所述環形的內徑與所述圓形靶材的半徑比值大于20%，所述環形的外徑與所述圓形靶材的半徑比值小于55%。

13.根據權利要求10所述的圓形靶材的檢測方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上中下三層取樣。

14.根據權利要求10所述的圓形靶材的檢測方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材中心區域、靶材邊緣區域、靶材中間區域的厚度方向分上中下三層取樣。

15.根據權利要求10所述的圓形靶材的檢測方法，其特征在于，在所述靶材的徑向按靶材中心區域、靶材邊緣區域、靶材中間區域取樣包括沿所述靶材直徑取10毫米-15毫米寬的長條。

16.根據權利要求10所述的圓形靶材的檢測方法，其特征在于，所述對各樣本進行金相觀察包括：對所述樣本進行研磨、拋光和化學腐蝕處理；用金相顯微鏡觀察所述處理后的樣本的組織結構。