[發(fā)明專利]全世代適用的真空貼合機及其工作方法

有效

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• 申請日: 2012-06-01
• 公開（公告）號: CN102673095A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設計）人: 張鑫狄
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B32B41/00
• 分類號: B32B41/00;B32B37/12
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種全世代適用的真空貼合機，在機臺上主要設置包括移載裝置、定位裝置、涂膠裝置、翻轉裝置以及至少一個真空貼合裝置，其特征在于，所述機臺的尺寸足夠大以適合于全世代基板尺寸，所述移載裝置具有可調節(jié)間距以適合于全世代基板尺寸的夾持頭，所述翻轉裝置具有足夠密的真空吸腳以適合于全世代基板尺寸，所述定位裝置包括識別基板在機臺上粗略位置的尺寸辨識系統(tǒng)以及對基板進行精細對位的標記位置辨識系統(tǒng)。

2.如權利要求1所述的全世代適用的真空貼合機，其特征在于，所述翻轉裝置能夠控制吸真空腳的氣流大小。

3.如權利要求1所述的全世代適用的真空貼合機，其特征在于，所述機臺的尺寸適應于大于或等于第十世代的基板尺寸。

4.如權利要求1所述的全世代適用的真空貼合機，其特征在于，所述尺寸辨識系統(tǒng)包括供操作者手動輸入基板尺寸的界面、以及設置于機臺上的可以自動識別出基板的直角和邊線的探測器，操作者手動輸入基板尺寸后，所述尺寸辨識系統(tǒng)在控制屏幕上生成一個尺寸與所輸入的基板尺寸相同的模擬框體，所述探測器自動識別出機臺上的基板的直角和邊線，所述尺寸辨識系統(tǒng)根據(jù)探測器識別出的直角或邊線自動擬合模擬框體與機臺上的基板的直角或邊線，通過確定模擬框體的位置來確定基板在機臺上的位置。

5.如權利要求1所述的全世代適用的真空貼合機，其特征在于，所述標記位置辨識系統(tǒng)包括對位CCD、以及供操作者手動輸入基板上標記的準確位置的界面，所述對位CCD和真空貼合裝置根據(jù)輸入的標記位置信息移動到標記位置，并根據(jù)標記對基板進行精細對位。

6.一種全世代適用的真空貼合機的工作方法，其特征在于，包括：

步驟10、移載裝置調節(jié)夾持頭的間距以適合于基板尺寸；

步驟20、操作者手動輸入基板尺寸，尺寸辨識系統(tǒng)在控制屏幕上生成一個尺寸與所輸入的基板尺寸相同的模擬框體，機臺上的探測器自動識別出機臺上的基板的直角和邊線，尺寸辨識系統(tǒng)根據(jù)探測器識別出的直角或邊線自動擬合模擬框體與機臺上的基板的直角或邊線，通過確定模擬框體的位置來確定基板在機臺上的位置；

步驟30、通過確定基板與機臺的相對位置，確定了將要進行精細對位的基板區(qū)域，移動對位CCD及真空貼合裝置到基板區(qū)域；

步驟40、在標記位置辨識系統(tǒng)中手動輸入標記在基板的準確位置，根據(jù)輸入的標記位置信息移動對位CCD和真空貼合裝置到標記位置，根據(jù)標記對基板進行精細對位；

步驟50、精細對位完成后，貼合開始。

7.如權利要求6所述的全世代適用的真空貼合機的工作方法，其特征在于，所述全世代適用的真空貼合機在機臺上主要設置包括移載裝置、定位裝置、涂膠裝置、翻轉裝置以及至少一個真空貼合裝置，所述機臺的尺寸足夠大以適合于全世代基板尺寸，所述移載裝置具有可調節(jié)間距以適合于全世代基板尺寸的夾持頭，所述翻轉裝置具有足夠密的真空吸腳以適合于全世代基板尺寸，所述定位裝置包括識別基板在機臺上粗略位置的尺寸辨識系統(tǒng)以及對基板進行精細對位的標記位置辨識系統(tǒng)。

8.如權利要求6所述的全世代適用的真空貼合機的工作方法，其特征在于，還包括翻轉裝置調節(jié)吸真空腳的氣流大小的步驟。

9.如權利要求6所述的全世代適用的真空貼合機的工作方法，其特征在于，所述基板為TFT基板或CF基板。

10.如權利要求6所述的全世代適用的真空貼合機的工作方法，其特征在于，所述全世代適用的真空貼合機的機臺的尺寸適應于大于或等于第十世代的基板尺寸。