[發明專利]制造顯示設備的方法

有效

• 申請號: 201210177907.6
• 申請日: 2012-05-31
• 公開（公告）號: CN103021938A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 坂野龍則;三浦健太郎;齊藤信美;中野慎太郎;上田知正;山口一
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;G02F1/1368;H01L27/32
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張欣

相關申請的交叉引用

本申請基于2011年9月27日提交的在先日本專利申請No.2011-211661并要求其優先權；該申請的全部內容通過引用結合于此。

技術領域

此處公開的實施例一般涉及用于制造顯示設備的方法。

背景

近年來，整體上，在使用諸如液晶顯示元件、電致發光元件（EL元件）等之類的顯示元件的顯示設備中，除了重量節約和規模化之外，已經有對于長期可靠性、形狀的高自由度、曲面顯示器的可獲得性等的高階要求。因此，作為用于顯示設備的襯底，諸如透明塑料等之類的薄膜層已經取代重的、易碎的和難以增加面積的玻璃襯底，吸引了人們的注意。盡管也可能使用塑料基于角色到角色處理（role?to?role?process）來形成顯示器，考慮到成本，存在用于制造顯示設備的方法，其中在諸如玻璃襯底之類的支承襯底上設置膜層，且在所述膜層上形成電路和顯示層，且然后，將所述膜層從所述支承襯底剝離。

附圖簡述

圖1是根據實施例的顯示設備的上表面視圖；

圖2A和圖2B是根據該實施例的顯示設備的部分截面視圖；

圖3A到3C是示出根據本實施例的顯示設備的制造過程的截面圖；

圖4A到4D是示出根據本實施例的顯示設備的制造過程的截面圖；

圖5A到5C是示出根據本實施例的顯示設備的制造過程的截面圖；

圖6是示出激光器的能量密度和負載之間的關系的示圖；以及

圖7是示出用紫外光照射之前以及之后的TFT的電流-電壓特性的示圖。

詳細描述

根據一個實施例，公開了用于制造顯示設備的方法。所述方法包括用于在支承襯底上形成膜材料層的過程。所述方法可包括用于加熱所述膜材料層來形成膜層的第一加熱過程。所述方法可包括用于以高于所述第一加熱過程的溫度的溫度加熱圍繞著第一區域的第二區域的第二加熱過程。所述第一區域被設置在所述膜層的中央部分中。所述方法可包括用于在所述第一區域的部分中形成顯示層且在所述第二區域的至少一部分中形成外圍電路部分的過程。所述方法可包括用于以高于所述第二加熱過程的溫度的溫度加熱在其中形成所述顯示層的范圍之外的膜層的至少一部分的第三加熱過程。另外，所述方法可包括用于將所述膜層從所述支承襯底剝離的過程。

實施例提供了顯示設備的制造方法，其中在形成電路和顯示層時難以將膜層從支承襯底剝離，而在形成所述電路和所述顯示層之后易于將所述膜層從所述支承襯底剝離。

下文中將參考相應附圖而描述各實施例。

這些附圖是示意性的或概念性的；且各部分的厚度和寬度之間、各部分之間尺寸的比例之間的關系等并不必要是與其實際值相同的。進一步，尺寸和比例在各個附圖之間可被圖示為不同，即使是對于同一個部分。

在本申請的說明書和附圖中，與相關于上文附圖而描述的那些組件相類似的組件被標記為類似的參考標號，且按需省略詳細描述。

圖1是根據實施例的顯示設備的上表面視圖。圖2A示出沿圖1中的顯示設備400的線A-A的截面圖，也就是下文將要描述的第一區域的截面，以及圖2B示出沿圖1中的顯示設備400的線B-B的截面圖，也就是下文將要描述的第二區域的截面。

如圖1中所示，顯示設備400具有一個主表面。所述顯示設備400的一個主表面具有設置在其中央部分中的第一區域310和圍繞該第一區域310的第二區域320。第一區域310的端側被定義為設置在所述顯示設備400的一個主表面的端側更內部。在圖1中，所述第一區域310和第二區域320之間的界限通過使用虛線來表示。

在第一區域310中，設置顯示層311和像素電路部分312。顯示層311，例如，是液晶層、有機電致發光層（OLEDE層）等。在第二區域的至少一部分中，設置外圍電路部分321和安裝部分322（在圖4C到圖4D中示出）。外圍電路部分321是用于驅動顯示層311的電路。進一步，安裝部分322是連接了可連接至顯示設備的轉接襯底的部分。

此處，顯示部分400是有源矩陣類型的顯示設備。如圖2A中所示，在第一區域310中，設置有膜襯底110、形成在膜襯底110上的像素的TFT（薄膜晶體管）310T、以及經由鈍化膜180和濾色器190設置在TFT310T上的顯示層311。像素的TFT310T是像素電路部分312的一部分，且用作用于驅動顯示層311的開關元件。