[發(fā)明專利]熱輔助磁頭檢查方法及其裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210175492.9
• 申請(qǐng)日: 2012-05-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102810319A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張開(kāi)鋒;廣瀨丈師;渡邊正浩;本間真司;中込恒夫;德富照明;中田俊彥;立崎武弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)
• 主分類號(hào): G11B5/455
• 分類號(hào): G11B5/455
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;郭鳳麟

1.一種熱輔助磁頭元件檢查裝置，用于對(duì)熱輔助磁頭元件進(jìn)行檢查，其特征在于具備：

工作臺(tái)單元，裝載作為樣品的熱輔助磁頭元件并能夠在平面內(nèi)移動(dòng)；

懸臂，具備掃描在該工作臺(tái)單元上裝載的樣品的表面的探針；

振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元，使該懸臂相對(duì)于所述樣品的表面在上下方向振動(dòng)；

位移檢測(cè)單元，向通過(guò)該振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行振動(dòng)的所述懸臂的與形成有所述探針的一側(cè)相反側(cè)的面照射光并檢測(cè)來(lái)自所述懸臂的反射光，來(lái)檢測(cè)所述懸臂的振動(dòng)；

信號(hào)輸出單元，輸出用于使所述熱輔助磁頭元件的近場(chǎng)光發(fā)光部產(chǎn)生近場(chǎng)光的信號(hào)；

散射光檢測(cè)單元，當(dāng)所述懸臂的探針進(jìn)入了根據(jù)該信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)從所述熱輔助磁頭元件的所述近場(chǎng)光發(fā)光部產(chǎn)生的近場(chǎng)光的產(chǎn)生區(qū)域內(nèi)時(shí)，檢測(cè)從所述懸臂的表面產(chǎn)生的散射光；以及

處理單元，使用裝載有所述樣品的工作臺(tái)單元的位置信息和由所述散射光檢測(cè)單元檢測(cè)所述散射光得到的信號(hào)，來(lái)判定從所述熱輔助磁頭元件的所述近場(chǎng)光發(fā)光部產(chǎn)生的近場(chǎng)光的產(chǎn)生狀態(tài)是否良好。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱輔助磁頭元件檢查裝置，其特征在于，

在所述懸臂的探針的表面形成有貴金屬或包括貴金屬的合金的微粒或者薄膜，由所述散射光檢測(cè)單元檢測(cè)所述懸臂的探針進(jìn)入了所述近場(chǎng)光的產(chǎn)生區(qū)域內(nèi)時(shí)從在所述探針的表面形成的所述貴金屬或包括貴金屬的合金的微粒或者薄膜產(chǎn)生的散射光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱輔助磁頭元件檢查裝置，其特征在于，

在所述懸臂的探針的表面形成有使入射的光的波長(zhǎng)變換后射出的材料的微粒或者薄膜，所述懸臂的探針進(jìn)入了所述近場(chǎng)光的產(chǎn)生區(qū)域內(nèi)時(shí)從所述探針的表面產(chǎn)生的散射光經(jīng)由所述使入射的光的波長(zhǎng)變換后射出的材料的微粒或者薄膜射出波長(zhǎng)不同于所述近場(chǎng)光波長(zhǎng)的散射光，由所述散射光檢測(cè)單元檢測(cè)該射出的波長(zhǎng)不同于所述近場(chǎng)光波長(zhǎng)的散射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱輔助磁頭元件檢查裝置，其特征在于，

在所述懸臂的探針的表面形成有貴金屬或包括貴金屬的合金的微粒或者薄膜，在該貴金屬或包括貴金屬的合金的微粒或者薄膜上形成有使入射的光的波長(zhǎng)變換后射出的材料的微粒或者薄膜，所述懸臂的探針進(jìn)入了所述近場(chǎng)光的產(chǎn)生區(qū)域內(nèi)時(shí)從在所述探針上形成的貴金屬或包括貴金屬的合金的微粒或者薄膜產(chǎn)生的散射光的波長(zhǎng)經(jīng)由所述使入射的光的波長(zhǎng)變換后射出的材料的微粒或者薄膜射出波長(zhǎng)不同于所述近場(chǎng)光波長(zhǎng)的散射光，由所述散射光檢測(cè)單元檢測(cè)該產(chǎn)生的散射光。

5.根據(jù)所述權(quán)利要求1記載的熱輔助磁頭檢查裝置，其特征在于，

能夠使用市場(chǎng)上銷售的各種懸臂，其中探針為硅（Si）、氧化硅（SiO₂）、氮化硅（SiN），或者在現(xiàn)有的AFM懸臂的薄片前端部具備以高密度碳（HDC：DLC）、CNT、CNF、鎢（W）為材料的細(xì)線。

6.一種熱輔助磁頭元件檢查裝置，用于對(duì)熱輔助磁頭元件進(jìn)行檢查，其特征在于具備：

工作臺(tái)單元，裝載作為樣品的熱輔助磁頭元件并能夠在平面內(nèi)移動(dòng)；

懸臂，具備掃描在該工作臺(tái)單元上裝載的樣品的表面的探針，在該探針的表面形成有貴金屬或包括貴金屬的合金的微粒或者薄膜；

振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元，使該懸臂相對(duì)于所述樣品的表面在上下方向振動(dòng)；

位移檢測(cè)單元，向通過(guò)該振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行振動(dòng)的所述懸臂的與形成有所述探針的一側(cè)相反側(cè)的面照射光并檢測(cè)來(lái)自所述懸臂的反射光，來(lái)檢測(cè)所述懸臂的振動(dòng)；

近場(chǎng)光產(chǎn)生單元，通過(guò)向所述懸臂的前端部分照射激光，使在所述探針的表面形成的貴金屬或包括貴金屬的合金的微粒或者薄膜產(chǎn)生近場(chǎng)光；

散射光檢測(cè)單元，當(dāng)被所述振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)進(jìn)行振動(dòng)、并通過(guò)所述近場(chǎng)光產(chǎn)生單元產(chǎn)生近場(chǎng)光的所述探針接近所述熱輔助磁頭元件時(shí)，檢測(cè)從所述熱輔助磁頭元件產(chǎn)生的散射光；以及

處理單元，處理由所述位移檢測(cè)單元檢測(cè)得到的信號(hào)和由所述散射光檢測(cè)單元檢測(cè)所述散射光得到的信號(hào)來(lái)檢查從所述熱輔助磁頭元件產(chǎn)生的近場(chǎng)光的產(chǎn)生狀態(tài)。