[發明專利]一種電子級三氯氫硅純度評價裝置

有效

• 申請號: 201210170915.8
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN103454377A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 劉柏年;王秉琳;劉剛;馬波;武春青;李學峰;李春松
• 申請（專利權）人: 青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;C01B33/035
• 代理公司: 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002
• 代理人: 李艷華

1.一種電子級三氯氫硅純度評價裝置，其特征在于：該裝置包括底盤（6）及置于所述底盤（6）上的帶有冷卻水夾套的鐘罩（3）、置于所述帶有冷卻水夾套的鐘罩（3）內的鉭絲（5）和穿過所述底盤（6）且連有電源的一對電極（8）；所述帶有冷卻水夾套的鐘罩（3）的頂部分別設有吊耳（1）、鐘罩冷卻水出水口（2），其側壁分別設有鐘罩冷卻水進水口（10）、視鏡（11）；所述一對電極（8）通過所述鉭絲（5）連接在一起；所述一對電極（8）的外側分別設有反應氣體進氣管口（7）、反應氣體出氣管口（9），該進反應氣體氣管口（7）和反應氣體出氣管口（9）穿過所述底盤（6）與所述帶有冷卻水夾套的鐘罩（3）腔體相通。

2.如權利要求1所述的一種電子級三氯氫硅純度評價裝置，其特征在于：所述視鏡（11）設在所述帶有冷卻水夾套的鐘罩（3）的中部，且位于所述鐘罩冷卻水進水口（10）的上方。

3.如權利要求1所述的一種電子級三氯氫硅純度評價裝置，其特征在于：所述反應氣體進氣管口（7）或所述反應氣體出氣管口（9）內的反應氣體為純度99.99999%的氫氣和氣化后的三氯氫硅。