[發明專利]物理量檢測器的制造方法、物理量檢測器

有效

• 申請號: 201210169606.9
• 申請日: 2012-05-28
• 公開（公告）號: CN102809669A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 渡邊潤;中仙道和之;龜田高弘
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/09
• 分類號: G01P15/09;H03H9/02;H03H3/02
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;孫麗梅

技術領域

本發明涉及一種物理量檢測器的制造方法。

背景技術

作為物理量檢測器的加速度檢測器中例如存在如下的裝置，所述裝置被構成為，利用當檢測軸方向上的力作用于壓電振動元件時壓電振動元件的共振頻率將發生變化的現象，而根據該共振頻率的變化來對被施加于加速度檢測器的加速度進行檢測。

例如，在專利文獻1中公開了，將雙音叉型壓電振動元件接合于框狀的平行四邊形框的一對對角上，并對另一對對角施加壓縮力、或牽拉力的結構的加速度計（加速度檢測器）及其制造方法。

專利文獻1的加速度檢測器具備：大致平板狀的中央元件，其具備固定部、和經由鉸鏈而與固定部相連接且能夠繞鉸鏈軸而轉動的可動部（振動塊）；大致平板狀的一對轉換器元件，其被粘合于中央元件的兩個面上，且裝配有雙音叉型壓電振動元件（參照專利文獻1的圖3）。

上述加速度檢測器被構成為，根據一對雙音叉型壓電振動元件之間的、對應于所施加的加速度而發生變化的共振頻率之差（頻率差），從而對加速度進行檢測。

根據專利文獻1的制造方法，在上述加速度檢測器中，中央元件通過在位于外周上的載置環的外側所設置的分離翼片，而在制造過程中被保持在晶片上，并且在制造結束后通過破壞分離翼片而從晶片上被分離。

但是，根據專利文獻1的制造方法，中央元件在制造過程中處于，其載置環的內側的可動部（振動塊）的自由端側能夠繞鉸鏈軸而轉動（能夠位移）的狀態。

因此，根據專利文獻1的制造方法，上述加速度檢測器的中央元件的可動部或鉸鏈有可能會由于例如，在使用了濕蝕刻等方法而進行的形狀加工時、或在一對轉換器元件的粘合時等所施加的外力，而發生破損。

專利文獻1：日本特開平8-54411號公報

發明內容

本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，其能夠作為以下的方式或應用例而實現。

應用例1

本應用例所涉及的物理量檢測器的制造方法的特征在于，所述物理量檢測器具備：平板框狀的基座部；平板狀的可動部，其被配置于該基座部的內側，且一個端部經由連接部而與所述基座部相連接；物理量檢測元件，其跨越所述連接部而被架設于所述基座部和所述可動部上，所述物理量檢測器的制造方法包括：以一體的方式形成所述基座部、所述連接部、所述可動部以及連結部的工序，其中，所述連結部被設置在該可動部的、作為自由端的另一個端部側，并連接所述基座部與所述可動部；將所述物理量檢測元件架設并固定在所述基座部與所述可動部上的工序；將所述連結部切斷的工序。

根據這種方式，物理量檢測器的制造方法包括：以一體的方式形成基座部（相當于固定部）、連接部（相當于鉸鏈）、可動部、連結部的工序；將物理量檢測元件架設并固定在基座部和可動部上的工序；將連結部切斷的工序。

因此，物理量檢測器的制造方法通過連結部而抑制了因在實施制造工序時所施加的外力而導致的可動部的撓曲，從而能夠降低實施制造工序時的可動部或連接部的破損，進而使物理量檢測器的生產性提高。

應用例2

在上述應用例所涉及的物理量檢測器的制造方法中，優選為，在將所述物理量檢測元件架設并固定在所述基座部與所述可動部上的工序之后，實施將所述連結部切斷的工序。

根據這種方式，在物理量檢測器的制造方法中，由于在將物理量檢測元件架設并固定在基座部和可動部上的工序之后，實施將連結部切斷的工序，因此能夠通過連結部來抑制因將物理量檢測元件架設并固定在基座部和可動部上時所施加的外力而導致的、可動部的撓曲。

其結果為，物理量檢測器的制造方法能夠降低實施將物理量檢測元件架設并固定在基座部和可動部上的工序時的、可動部或連接部的破損，從而使物理量檢測器的生產性提高。

應用例3

在上述應用例所涉及的物理量檢測器的制造方法中，優選為，將所述連結部形成為，薄于所述基座部和所述可動部。

根據這種方式，在物理量檢測器的制造方法中，由于將連結部形成為薄于基座部和可動部，因此在將連結部切斷的工序中，能夠在不會對基座部和可動部產生不良影響的條件下容易地實施對連結部的切斷。

應用例4

在上述應用例所涉及的物理量檢測器的制造方法中，優選為，以僅對單面進行加工的方式而將所述連結部形成為，薄于所述基座部和所述可動部。

根據這種方式，在物理量檢測器的制造方法中，由于以僅對單面進行加工的方式而將所述連結部形成為薄于基座部和可動部，因此與從兩面進行的加工相比，能夠更容易地實施連結部的形成。

應用例5