[發明專利]物理量檢測器的制造方法、物理量檢測器

有效

• 申請號: 201210169606.9
• 申請日: 2012-05-28
• 公開（公告）號: CN102809669A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 渡邊潤;中仙道和之;龜田高弘
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/09
• 分類號: G01P15/09;H03H9/02;H03H3/02
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;孫麗梅

1.一種物理量檢測器的制造方法，其特征在于，所述物理量檢測器具備：

平板框狀的基座部；平板狀的可動部，其被配置于該基座部的內側，且一個端部經由連接部而與所述基座部相連接；物理量檢測元件，其跨越所述連接部而被架設于所述基座部和所述可動部上，

所述物理量檢測器的制造方法包括：

以一體的方式形成所述基座部、所述連接部、所述可動部以及連結部的工序，其中，所述連結部被設置在該可動部的、作為自由端的另一個端部側，并連接所述基座部與所述可動部；

將所述物理量檢測元件架設并固定在所述基座部與所述可動部上的工序；

將切斷所述連結部的工序。

2.如權利要求1所述的物理量檢測器的制造方法，其特征在于，

在將所述物理量檢測元件架設并固定在所述基座部與所述可動部上的工序之后，實施將所述連結部切斷的工序。

3.如權利要求1或權利要求2所述的物理量檢測器的制造方法，其特征在于，

將所述連結部形成為，薄于所述基座部和所述可動部。

4.如權利要求3所述的物理量檢測器的制造方法，其特征在于，

以僅對單面進行加工的方式而將所述連結部形成為，薄于所述基座部和所述可動部。

5.如權利要求1或權利要求2所述的物理量檢測器的制造方法，其特征在于，

將所述連結部形成為，在所述基座部側和所述可動部側具有縮頸部。

6.如權利要求5所述的物理量檢測器的制造方法，其特征在于，

將所述連結部的所述縮頸部形成為，在俯視觀察時，切入到所述基座部與所述可動部中。

7.如權利要求1或權利要求2所述的物理量檢測器的制造方法，其特征在于，

將所述連結部形成為，在俯視觀察時，與所述可動部的、沿著連結該可動部與所述基座部的方向的中心線重合。

8.一種物理量檢測器，其特征在于，具備：

平板框狀的基座部；平板狀的可動部，其被配置于該基座部的內側，且一個端部經由連接部而與所述基座部相連接；物理量檢測元件，其跨越所述連接部而被架設于所述基座部和所述可動部上，

所述基座部中，所述基座部的內側的側面的一部分為切斷面，

所述可動部中，面向所述切斷面的側面為切斷面，

所述基座部的所述切斷面與所述可動部的所述切斷面分離。

9.如權利要求8所述的物理量檢測器，其特征在于，

在俯視觀察時，所述可動部的所述切斷面與沿著連結所述可動部與所述基座部的方向的中心線重合。

10.如權利要求8或權利要求9所述的物理量檢測器，其特征在于，

在俯視觀察時，在所述可動部的側面上，于與所述可動部的所述切斷面鄰接的兩旁存在凹陷部分。

11.如權利要求10所述的物理量檢測器，其特征在于，

在俯視觀察時，所述切斷面未突出于所述凹陷部分處的、所述可動部的外周側的端部的外側。