[發(fā)明專利]溫度測量裝置、溫度測量方法和熱處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210168015.X
• 申請日: 2012-05-25
• 公開（公告）號: CN102798468A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 諸井政幸;菊池仁;小堆正人
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00;G01J5/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種溫度測量裝置，其用于推斷熱處理裝置的處理容器內(nèi)的溫度分布，該熱處理裝置包括：上述處理容器，其在內(nèi)部設(shè)有用于載置基板的旋轉(zhuǎn)臺；加熱部，其用于加熱該處理容器，其中，

該溫度測量裝置包括：

輻射溫度測量部，其以通過沿著上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向掃描該旋轉(zhuǎn)臺的一個面?zhèn)榷軌驕y量沿著該徑向形成的多個溫度測量區(qū)域的溫度的方式設(shè)置；

指示接受部，其用于接受上述處理容器內(nèi)的溫度分布的測量指示；

動作控制部，在上述指示接受部接受上述處理容器內(nèi)的溫度分布的測量指示時，其開始利用上述加熱部加熱上述處理容器，并且使上述旋轉(zhuǎn)臺靜止，在從利用上述加熱部開始加熱上述處理容器經(jīng)過規(guī)定的時間之后，其一邊使上述旋轉(zhuǎn)臺相對于上述輻射溫度測量部旋轉(zhuǎn)，一邊在該旋轉(zhuǎn)臺的整個周向上重復(fù)利用上述輻射溫度測量部沿著上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向掃描該旋轉(zhuǎn)臺的上述一個面?zhèn)葋頊y量上述多個溫度測量區(qū)域的溫度的處理，自上述輻射溫度測量部取得上述多個溫度測量區(qū)域的溫度；

溫度映射制作部，其基于上述輻射溫度測量部沿著上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向掃描的每一次掃描的溫度測量區(qū)域的數(shù)量及上述旋轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)速，指定上述動作控制部取得了上述溫度的上述溫度測量區(qū)域的地址，使該溫度和該地址相關(guān)聯(lián)并存儲到存儲部中；

溫度數(shù)據(jù)顯示處理部，其基于由上述溫度映射制作部存儲到上述存儲部中的上述溫度和上述地址，將上述旋轉(zhuǎn)臺的上述一個面?zhèn)鹊臏囟确植硷@示為上述處理容器內(nèi)的溫度分布的推斷值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其中，

上述輻射溫度測量部在上述處理容器的規(guī)定部位沿著上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向掃描該旋轉(zhuǎn)臺的一個面?zhèn)葋頊y量沿著該徑向形成的多個溫度測量區(qū)域的溫度，

上述動作控制部在上述旋轉(zhuǎn)臺相對于上述輻射溫度測量部旋轉(zhuǎn)至少1周的期間內(nèi)進行利用上述輻射溫度測量部沿著上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向掃描該旋轉(zhuǎn)臺的上述一個面?zhèn)葋頊y量上述多個溫度測量區(qū)域的溫度的處理，自上述輻射溫度測量部取得上述多個溫度測量區(qū)域的溫度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其中，

上述溫度數(shù)據(jù)顯示處理部基于寫入到上述存儲部中的上述溫度和上述地址，在上述指示接受部自用戶接受到上述旋轉(zhuǎn)臺的規(guī)定角度的指定時，顯示沿著該規(guī)定角度形成的直線區(qū)域的溫度分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其中，

上述動作控制部基于上述輻射溫度測量部的掃描速度來控制上述旋轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)速，以便上述輻射溫度測量部在上述旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)1周的期間內(nèi)沿著上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向掃描10次以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其中，

上述輻射溫度測量部接收上述旋轉(zhuǎn)臺表面的紅外線來測量上述旋轉(zhuǎn)臺表面的溫度，

上述處理容器還包括以沿上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向從上述旋轉(zhuǎn)臺的內(nèi)側(cè)到外側(cè)的方式設(shè)置在規(guī)定位置的狹縫、以覆蓋該狹縫且能夠使紅外線透過的方式設(shè)置的透過板，

上述輻射溫度測量部通過沿著該狹縫隔著上述透過板沿上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向掃描該旋轉(zhuǎn)臺的一個面?zhèn)葋頊y量沿著該徑向形成的多個溫度測量區(qū)域的溫度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其中，

上述輻射溫度測量部以沿著上述旋轉(zhuǎn)臺的徑向從內(nèi)側(cè)向外側(cè)掃描該旋轉(zhuǎn)臺的上述一個面?zhèn)鹊姆绞皆O(shè)置。

7.一種熱處理裝置，其中，

該熱處理裝置包括：

處理容器，其在內(nèi)部設(shè)有用于載置基板的旋轉(zhuǎn)臺；

加熱部，其用于加熱該處理容器；

權(quán)利要求1所述的上述溫度測量裝置。