[發(fā)明專利]真空處理裝置以及真空處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210166842.5
• 申請(qǐng)日: 2012-05-25
• 公開（公告）號(hào): CN102800615A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 仲田輝男;野木慶太;井上智己;川口道則
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;郭鳳麟

1.一種真空處理裝置，其具備將放置在大氣側(cè)的被處理體取入真空側(cè)的預(yù)真空進(jìn)樣室，所述真空處理裝置的特征在于，

具備：

設(shè)置在所述真空側(cè)，對(duì)所述被處理體實(shí)施預(yù)定的處理的多個(gè)處理室；

具備進(jìn)行所述被處理體的交接的真空機(jī)器人而構(gòu)成的多個(gè)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部；

在所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部間進(jìn)行連結(jié)，對(duì)所述被處理體進(jìn)行中繼搬運(yùn)的多個(gè)搬運(yùn)中間部；

設(shè)置在所述預(yù)真空進(jìn)樣室和所述搬運(yùn)中間部中的、用于保持多個(gè)所述被處理體的保持機(jī)構(gòu)部；以及

控制所述被處理體的交接以及中繼搬運(yùn)的控制部，

所述控制部保持表示所述處理室、所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部、所述搬運(yùn)中間部、所述保持機(jī)構(gòu)部的各自的動(dòng)作狀態(tài)、以及所述被處理體的有無(wú)及其處理狀態(tài)的裝置狀態(tài)信息，根據(jù)該裝置狀態(tài)信息，針對(duì)每個(gè)所述處理室計(jì)算處理過程中或者向預(yù)定進(jìn)行處理的處理室搬運(yùn)過程中、在該處理室中未處理的所述被處理體的數(shù)量，將其作為未處理的被處理體的數(shù)量，在計(jì)算出的所述未處理的被處理體的數(shù)量與預(yù)先設(shè)定的投入限制數(shù)相同或者在該投入限制數(shù)以上的情況下，計(jì)算出除去與該投入限制數(shù)相同或者在該投入限制數(shù)以上的處理室的候補(bǔ)搬運(yùn)目的地，根據(jù)所述候補(bǔ)搬運(yùn)目的地計(jì)算出所述被處理體的搬運(yùn)目的地。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理裝置，其特征在于，

將所述投入限制數(shù)設(shè)定為：將與一個(gè)處理室連接的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部上連接的所述預(yù)真空進(jìn)樣室、或者所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部上連接的接近所述大氣側(cè)的一側(cè)的中間搬運(yùn)部具有的保持機(jī)構(gòu)部中能夠保持的未處理的被處理體的數(shù)量除以與該一個(gè)處理室連接的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部上連接的全部處理室的數(shù)量并在得到的商上加1而得的值、或者該值以下的值。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理裝置，其特征在于，

根據(jù)所述保持機(jī)構(gòu)部能夠保持的被處理體的數(shù)量來(lái)決定所述投入限制數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理裝置，其特征在于，

具有對(duì)所述控制部輸入數(shù)據(jù)的輸入部，

能夠從該輸入部與所述被處理體的處理時(shí)間的不準(zhǔn)確性對(duì)應(yīng)地選定所述被處理體的搬運(yùn)目的地的計(jì)算方法。

5.一種真空處理方法，控制將放置在大氣側(cè)的被處理體取入真空側(cè)的預(yù)真空進(jìn)樣室、和所述被處理體的交接以及中繼搬運(yùn)，其特征在于，

具備以下步驟：

使用真空機(jī)器人進(jìn)行所述被處理體的交接的搬運(yùn)步驟；

在搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部間進(jìn)行連結(jié)，對(duì)所述被處理體進(jìn)行中繼搬運(yùn)的中繼搬運(yùn)步驟；以及

在處理室中對(duì)所述被處理體實(shí)施預(yù)定的處理的處理步驟，

還具有以下步驟：

在所述被處理體的交接以及中繼搬運(yùn)中，針對(duì)每個(gè)所述處理室，計(jì)算處理過程中以及向處理室搬運(yùn)過程中的未處理的所述被處理體的數(shù)量，在未處理的所述被處理體的數(shù)量與預(yù)先設(shè)定的投入限制數(shù)相同或者在該投入限制數(shù)以上的情況下，計(jì)算除去該處理室的候補(bǔ)搬運(yùn)目的地，根據(jù)所述候補(bǔ)搬運(yùn)目的地計(jì)算出所述被處理體的搬運(yùn)目的地。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空處理方法，其特征在于，

將所述投入限制數(shù)設(shè)定為：將與一個(gè)處理室連接的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部上連接的所述預(yù)真空進(jìn)樣室、或者所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部上連接的接近所述大氣側(cè)的一側(cè)的中間搬運(yùn)部具有的保持機(jī)構(gòu)部中能夠保持的未處理的被處理體的數(shù)量除以與該一個(gè)處理室連接的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)部上連接的全部處理室的數(shù)量并在得到的商上加1而得的值、或者該值以下的值。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空處理方法，其特征在于，

根據(jù)所述保持機(jī)構(gòu)部能夠保持的被處理體的數(shù)量來(lái)決定所述投入限制數(shù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空處理方法，其特征在于，

具有對(duì)所述控制部輸入數(shù)據(jù)的輸入部，

能夠從該輸入部與所述被處理體的處理時(shí)間的不準(zhǔn)確性對(duì)應(yīng)地選定所述被處理體的搬運(yùn)目的地的計(jì)算方法。