[發(fā)明專利]一種帶埋盲孔的高密度互連PCB板的預(yù)開窗工藝

有效

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• 申請日: 2012-05-25
• 公開（公告）號: CN102686031A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王愛軍
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞山本電子科技有限公司
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 羅曉林;李志強

技術(shù)領(lǐng)域

?本發(fā)明涉及一種PCB板的預(yù)開窗工藝，尤其涉及一種帶埋盲孔的高密度互連PCB板的預(yù)開窗工藝。

背景技術(shù)

隨著PCB板行業(yè)的快速發(fā)展，傳統(tǒng)的PCB板的鉆孔由于受到鉆刀影響，當(dāng)鉆孔孔徑達到0.15mm時，制作成本已經(jīng)非常高，并且很難再次改進，使PCB板的發(fā)展受到限制。隨著科技的不斷進步，出現(xiàn)了一種高密度互連板，即是HDI板。它是利用激光進行鉆孔，孔徑一般為0.075～0.15mm，還降低了加工成本，線路寬度一般為0.075～0.1mm，焊盤的尺寸可以大幅度的減小，單位面積內(nèi)可以得到更多的線路分布。此種HDI板適應(yīng)并推進了PCB板行業(yè)的進一步發(fā)展。

HDI板在鉆埋孔或盲孔時，利用激光光源鉆孔，在鉆孔的時候由于不能燒蝕到金屬銅，因此，通常的做法是，在激光鉆孔位置預(yù)先使用化學(xué)方式把芯材上的金屬銅蝕刻掉，即為預(yù)開窗工藝。

現(xiàn)有HDI板預(yù)開窗工藝的通常做法是：在芯板的表面貼負(fù)性感光干膜或涂敷負(fù)性感光油墨，然后用聚對苯二甲酸乙二酯PET材質(zhì)的底片曝光成像，曝光區(qū)域的干膜或油墨具有抗顯影、抗蝕刻性能，使芯板上的銅面得到保護。非曝光區(qū)域的負(fù)性感光干膜或負(fù)性感光油墨可以被顯影露出銅箔面進而被蝕刻掉，形成與激光蝕孔位置相對應(yīng)的圓形窗口，激光蝕孔以后通過電鍍等常規(guī)工藝，即可形成芯板的內(nèi)外層互連。現(xiàn)有的加工工藝存在以下不足。

1、聚對苯二甲酸乙二酯PET材質(zhì)具有隨溫濕度的變化特別是濕度的變化呈現(xiàn)漲縮的現(xiàn)象，其次PET底片在制作、搬運、儲存、使用過程中會發(fā)生不可逆的物理變形，致使激光窗口與內(nèi)層的聯(lián)結(jié)盤不能對準(zhǔn)，產(chǎn)生多種質(zhì)量缺陷。

2、PET底片和保護膜的厚度通常為200微米,負(fù)性感光干膜的厚度為30-50微米（負(fù)性感光油墨厚度為10-20微米），當(dāng)使用非平行光曝光成像時，由于底片保護膜的影響和光線的反復(fù)衍射，以及感光抗蝕層厚度大時解像力變差的影響，容易出現(xiàn)開窗直徑偏小，甚至消失的現(xiàn)象，造成產(chǎn)品不良，導(dǎo)致產(chǎn)品的良品率低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種帶埋盲孔的高密度互連PCB板的預(yù)開窗工藝，有效降低加工難度，減少生產(chǎn)成本，提高工作效率，大幅提高產(chǎn)品的良品率。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采取以下技術(shù)方案：

一種帶埋盲孔的高密度互連PCB板的預(yù)開窗工藝，包括以下步驟：（1）在待加工的芯板上表面涂覆正性光刻膠膜層，（2）在涂覆了正性光刻膠的芯板上表面放置帶通孔的鋁片，然后將芯板及鋁片放入曝光機中曝光，（3）曝光完成后取走鋁片，對芯板進行顯像處理，（4）對顯像后的芯板進行蝕刻處理，（5）剝膜，將芯板上剩余的正性光刻膠膜層剝除掉，（6）對芯板進行清洗，（7）對芯板進行干燥，（8）利用激光對芯板鉆盲孔，（9）對盲孔進行電鍍，然后進行圖形轉(zhuǎn)移等后續(xù)加工。

所述芯板表面涂敷的正性光刻膠膜層的厚度為10～20微米。

所述芯板放在曝光機內(nèi)曝光時的曝光能量為30-70兆焦耳每平方厘米mj/cm^2?。

所述芯板顯像處理時采用質(zhì)量百分比濃度為1%的NaCO₃溶液對芯板進行噴淋，噴淋時間為70～130秒，噴淋溫度為?30℃。

所述芯板剝膜時采用質(zhì)量百分比濃度為3%的NaHO溶液對芯板噴淋110～130秒，噴淋溫度為50℃。

所述鋁片的厚度為100～150微米。

本發(fā)明采用鋁片替代傳統(tǒng)的聚對苯二甲酸乙二酯PET材質(zhì)的底片，實現(xiàn)高精度的圖像轉(zhuǎn)移，減少了內(nèi)外層錯位、局部偏移導(dǎo)致的內(nèi)外層接續(xù)不良，減少由于對位不準(zhǔn)而導(dǎo)致的激光燒蝕過度問題。另外，鋁片較薄并且無須貼付保護膜，采用正性光刻膠使解像力提高，避免激光預(yù)開窗口的尺寸偏小，提高產(chǎn)品的良品率，保證加工精度，還降低了加工難度，提高了作業(yè)效率，降低生產(chǎn)成本。

具體實施方式

為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解，下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步的描述。