[發(fā)明專利]蒸氣輸送裝置及其制造和使用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210164827.7
• 申請(qǐng)日: 2012-05-23
• 公開（公告）號(hào): CN102794136A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: E·沃克;R·L·小迪卡洛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅門哈斯電子材料有限公司
• 主分類號(hào): B01J4/00
• 分類號(hào): B01J4/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 江磊

1.一種輸送系統(tǒng)，其包括：

輸送裝置，所述輸送裝置具有入口和出口;所述輸送裝置包含固體前體;

第一比例閥;所述第一比例閥與所述輸送裝置的入口連通;所述第一比例閥根據(jù)施加的電壓進(jìn)行操作，用來控制載氣的第一物流流向所述輸送裝置的流量;

第二比例閥;所述第二比例閥與所述輸送裝置的出口連通;所述第二比例閥根據(jù)施加的電壓進(jìn)行操作，用來控制載氣的第二物流流向所述輸送裝置的流量;

混合裝置；所述混合裝置位于所述輸送裝置的下游，所述混合裝置進(jìn)行操作來將所述第一物流與第二物流混合;

化學(xué)傳感器;所述化學(xué)傳感器設(shè)置在所述混合室的下游，所述化學(xué)傳感器進(jìn)行操作來分析從所述混合室排出的流體物流的化學(xué)含量;所述化學(xué)傳感器與所述第一比例閥連通;以及

第一壓力/流量控制器，所述第一壓力/流量控制器與所述化學(xué)傳感器和第一比例閥操作連通;所述輸送系統(tǒng)進(jìn)行操作，向與所述輸送系統(tǒng)連通的多個(gè)反應(yīng)器輸送基本恒定摩爾數(shù)前體蒸氣/單位體積載氣。

2.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述混合室與包含所述第一物流的第一管道以及包含第二物流的第二管道流體連通。

3.如權(quán)利要求2所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一物流和第二物流在彼此接觸之前沿著相反的方向流動(dòng)。

4.如權(quán)利要求2所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一物流和第二物流不是沿著相反的方向流動(dòng)的。

5.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一物流和第二物流在一個(gè)通道內(nèi)混合，所述通道在第一管道的凸緣和混合室的側(cè)面之間形成。

6.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括壓力傳感器和第二壓力/流量控制器；所述壓力傳感器與所述輸送裝置流體連通;所述第二壓力/流量控制器與所述第二比例閥電連通。

7.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一壓力/流量控制器、第一比例閥、輸送裝置、混合室和化學(xué)傳感器處于第一閉合回路中。

8.如權(quán)利要求6所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述第二壓力/流量控制器、第二比例閥、混合室和壓力傳感器處于第二閉合回路中。

9.一種方法，所述方法包括：

通過輸送裝置將載氣的第一物流傳輸?shù)交旌鲜?所述輸送裝置包含前體化合物;所述載氣的第一物流的溫度等于或高于20°C;

將載氣的第二物流傳輸?shù)剿龌旌鲜?所述混合室位于所述輸送裝置下游的位置;以及

在所述混合室中合并所述第一物流和第二物流，形成第三物流;所述第一物流和第二物流在彼此接觸之前沿著彼此相反的方向流動(dòng)。

10.如權(quán)利要求9所述的方法,該方法還包括將信號(hào)從設(shè)置在所述第三物流中的化學(xué)傳感器傳輸?shù)降谝粔毫?流量調(diào)節(jié)器和/或第二壓力/流量調(diào)節(jié)器,所述第一壓力/流量調(diào)節(jié)器進(jìn)行操作來控制第一物流中的載氣的流速,所述第二壓力/流量調(diào)節(jié)器進(jìn)行操作來控制所述第二物流中的載氣的流速。