[發(fā)明專利]一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210162949.2
• 申請(qǐng)日: 2012-05-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103419134A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志慧;龔大偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B55/00
• 分類(lèi)號(hào): B24B55/00
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨工具的平臺(tái)調(diào)節(jié)器，特別涉及一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，平臺(tái)調(diào)節(jié)器通常用于磨粗糙或者清潔化學(xué)機(jī)械研磨工具的平臺(tái)，但是會(huì)多次出現(xiàn)平臺(tái)調(diào)節(jié)器的通過(guò)四個(gè)螺栓柔性裝配的研磨頭損壞并且下降到隨機(jī)的區(qū)域，因此，可能導(dǎo)致一些諸如在工作進(jìn)程中撞碎研磨頭的嚴(yán)重的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器，能夠有效保護(hù)研磨頭，增加了研磨頭的壽命，并有效保護(hù)了研磨頭所研磨的晶片以及其他部件。

為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器，包含：研磨頭，帶動(dòng)研磨頭上下動(dòng)作的調(diào)節(jié)手臂，以及控制調(diào)節(jié)手臂開(kāi)關(guān)的電磁閥，還包含：

傳感裝置，所述的傳感裝置設(shè)置在研磨頭與調(diào)節(jié)手臂之間，所述的傳感裝置的一端通過(guò)電纜與外部的主控制器相連，另一端接地；當(dāng)外部的主控制裝置通過(guò)電磁閥控制研磨頭向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，傳感裝置檢測(cè)研磨頭是否與調(diào)節(jié)手臂相對(duì)靠近，若研磨頭與調(diào)節(jié)手臂并未相對(duì)靠近，則傳感裝置斷開(kāi)；

繼電保護(hù)裝置，所述的繼電保護(hù)裝置的輸入端與外部的主控制器相連，其輸出端與電磁閥的輸入端相連。

所述的傳感裝置為接近開(kāi)關(guān)。

所述的繼電保護(hù)裝置為電磁繼電器。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、能夠有效保護(hù)研磨頭，增加了研磨頭的壽命；

2、有效保護(hù)了研磨頭所研磨的晶片以及其他部件。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器的控制電路原理圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖，通過(guò)詳細(xì)說(shuō)明一個(gè)較佳的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步闡述。

如圖1、圖2所示，一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器，包含：研磨頭1，帶動(dòng)研磨頭1上下動(dòng)作的調(diào)節(jié)手臂2，以及控制調(diào)節(jié)手臂2開(kāi)關(guān)的電磁閥4，在本實(shí)施例中，電磁閥4采用DC?24V供電，還包含：傳感裝置3、繼電保護(hù)裝置5。

其中，如圖2所示，傳感裝置3設(shè)置在研磨頭1與調(diào)節(jié)手臂2之間，該傳感裝置3的一端通過(guò)電纜與外部的主控制器相連，另一端接地，在本實(shí)施例中，傳感裝置3為接近開(kāi)關(guān)，當(dāng)外部的主控制裝置通過(guò)電磁閥4控制研磨頭1向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，傳感裝置3檢測(cè)研磨頭1是否與調(diào)節(jié)手臂2相對(duì)靠近，若研磨頭1與調(diào)節(jié)手臂2并未相對(duì)靠近，則傳感裝置3斷開(kāi)。繼電保護(hù)裝置5的輸入端與外部的主控制器相連，其輸出端與電磁閥4的輸入端相連，在本實(shí)施例中，繼電保護(hù)裝置5為電磁繼電器。

如圖1、圖2所示，當(dāng)工作時(shí)，調(diào)節(jié)手臂2控制研磨頭1有規(guī)律的上下動(dòng)作，從而控制研磨頭1的研磨工作，此時(shí)，當(dāng)研磨頭1向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，繼電保護(hù)裝置5閉合，電磁閥4繼續(xù)工作，帶動(dòng)研磨頭1向上運(yùn)動(dòng)，傳感裝置3開(kāi)始檢測(cè)是否有金屬向其靠近，如果有，研磨頭1繼續(xù)在電磁閥4的帶動(dòng)下繼續(xù)向下運(yùn)動(dòng)，如果沒(méi)有，則說(shuō)明研磨頭1掉落，從而傳感裝置3斷開(kāi)，同時(shí)，該斷開(kāi)信號(hào)被傳至主控制器，主控制器再控制繼電保護(hù)裝置5斷開(kāi)，同時(shí)，平臺(tái)調(diào)節(jié)器立即發(fā)出警報(bào)，電磁閥4停止工作，從而平臺(tái)調(diào)節(jié)器停止運(yùn)行，研磨頭1停止研磨，有效保護(hù)了研磨頭1，從而大大增加了研磨頭1的壽命，并有效保護(hù)了研磨頭1所研磨的晶片以及其他部件。

綜上所述，本發(fā)明一種采用接近開(kāi)關(guān)的平臺(tái)調(diào)節(jié)器，能夠有效保護(hù)研磨頭1，增加了研磨頭1的壽命，并有效保護(hù)了研磨頭1所研磨的晶片以及其他部件。

盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過(guò)上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對(duì)本發(fā)明的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對(duì)于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易見(jiàn)的。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來(lái)限定。