[發明專利]一種采用接近開關的平臺調節器

在審

• 申請號: 201210162949.2
• 申請日: 2012-05-24
• 公開（公告）號: CN103419134A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 張志慧;龔大偉
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: B24B55/00
• 分類號: B24B55/00
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

1.一種采用接近開關的平臺調節器，包含：研磨頭（1），帶動研磨頭（1）上下動作的調節手臂（2），以及控制調節手臂（2）開關的電磁閥（4），其特征在于，還包含：

傳感裝置（3），所述的傳感裝置（3）設置在研磨頭（1）與調節手臂（2）之間，所述的傳感裝置（3）的一端通過電纜與外部的主控制器相連，另一端接地；當外部的主控制裝置通過電磁閥（4）控制研磨頭（1）向上運動時，傳感裝置（3）檢測研磨頭（1）是否與調節手臂（2）相對靠近，若研磨頭（1）與調節手臂（2）并未相對靠近，則傳感裝置（3）斷開；

繼電保護裝置（5），所述的繼電保護裝置（5）的輸入端與外部的主控制器相連，其輸出端與電磁閥（4）的輸入端相連。

2.根據權利要求1所述的采用接近開關的平臺調節器，其特征在于，所述的傳感裝置（3）為接近開關。

3.根據權利要求1所述的采用接近開關的平臺調節器，其特征在于，所述的繼電保護裝置（5）為電磁繼電器。